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公开(公告)号：CN118783811B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411266848.9
申请日：2024-09-11
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种弹性装配的双通道力回路压电纳米位移台及其驱动方法，首先，将原方案中的内滑块、平台滑块和压电体的刚性紧密装配的模式，改为弹性紧密装配的模式；其次，将三压电体驱动改动为两个压电体驱动和一个弹簧体预紧相结合，并配合新的步进驱动控制方法；即使环境温度发生较大变化时也始终处于紧密装配状态，对环境温度变化适应性强；而且，压电体始终处于稳恒预紧力状态，减小了位移台步进过程中压电体在伸长和缩短相互转变的临界点附近输出力和输出位移不连续的影响，极大减小位移步进的非线性，新位移台即使在开环条件下也能保持步长均匀、速度稳定；此外，该纳米位移台的步进速度与驱动信号有良好的线性关系。
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公开(公告)号：CN118783811A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202411266848.9
申请日：2024-09-11
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种弹性装配的双通道力回路压电纳米位移台及其驱动方法，首先，将原方案中的内滑块、平台滑块和压电体的刚性紧密装配的模式，改为弹性紧密装配的模式；其次，将三压电体驱动改动为两个压电体驱动和一个弹簧体预紧相结合，并配合新的步进驱动控制方法；即使环境温度发生较大变化时也始终处于紧密装配状态，对环境温度变化适应性强；而且，压电体始终处于稳恒预紧力状态，减小了位移台步进过程中压电体在伸长和缩短相互转变的临界点附近输出力和输出位移不连续的影响，极大减小位移步进的非线性，新位移台即使在开环条件下也能保持步长均匀、速度稳定；此外，该纳米位移台的步进速度与驱动信号有良好的线性关系。
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