-
公开(公告)号：CN218160439U
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202221904770.5
申请日：2022-07-22
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 一种钙钛矿太阳能电池一体化真空制晶及退火装置，包括腔室主体、腔门、工艺控制操作面板及机械泵。所述腔室主体内部顶面有红外辐射加热灯，腔室主体内部侧壁有温度传感器和真空压力传感器，腔室主体内部设有基片台；所述腔室主体正面转动连接有腔门，腔门外侧有旋转把手，腔门中部有观察窗，腔门内侧有密封圈；所述腔室主体左侧设有工艺控制操作面板，工艺控制操作面板上设有显示器、计时器、控制器；所述腔室主体底部通过抽气管路与机械泵连接，抽气管路上设有真空阀，腔室主体侧面有放气管路，放气管路上设有放气阀。该装置将真空制晶装置与退火加热装置合为一体，有效降低了设备量的需求和成本；采用红外辐射灯加热退火，有利于提高薄膜质量。
Search Results
1
records
(took 0.018 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
