-
公开(公告)号：CN119125611A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411388122.2
申请日：2024-09-30
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及一种共步进单元的组合式扫描探针显微镜镜体，其特征在于外框架、基座、第一扫描单元、第一探针支架、步进单元和第二探针支架，所述外框架内部中空，所述基座固定在外框架顶部，所述第一扫描单元的一端固定在基座上，另一端置有所述第一探针支架，所述步进单元置于外框架的内部，并且所述步进单元顶部置有所述第一样品台、底部置有所述第二样品台，所述第二探针支架固定在外框架底部。本发明的组合式扫描探针显微镜包含两种扫描探针显微镜的测试结构，并且它们的逼近和退针过程共用同一个步进单元，该显微镜结构紧凑、刚性强，适用于低温和强磁场的极端环境测试。
-
公开(公告)号：CN118670240B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202411140730.1
申请日：2024-08-20
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及一种累加式纳米步进器位移测量装置和测量方法，该装置包括外框支架、辅助纳米步进器、平整样品块、微形变传感器、待测纳米步进器固定架，所述外框支架两端分别固定辅助纳米步进器和待测纳米步进器固定架，所述待测纳米步进器固定架与待测纳米步进器相适应，所述微形变传感器固定在辅助纳米步进器顶端，所述的平整样品块安装在待测纳米步进器的可移动端并且与微形变传感器的位置相对应，所述辅助纳米步进器的行走方向与待测纳米步进器的行走方向平行或共线。该装置可实现低温、强磁场、超高真空等限定空间极端物理环境中压电纳米位移台或压电纳米步进器步进位移的纳米级分辨和宏观大量程测量。
-
公开(公告)号：CN118670240A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411140730.1
申请日：2024-08-20
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及一种累加式纳米步进器位移测量装置和测量方法，该装置包括外框支架、辅助纳米步进器、平整样品块、微形变传感器、待测纳米步进器固定架，所述外框支架两端分别固定辅助纳米步进器和待测纳米步进器固定架，所述待测纳米步进器固定架与待测纳米步进器相适应，所述微形变传感器固定在辅助纳米步进器顶端，所述的平整样品块安装在待测纳米步进器的可移动端并且与微形变传感器的位置相对应，所述辅助纳米步进器的行走方向与待测纳米步进器的行走方向平行或共线。该装置可实现低温、强磁场、超高真空等限定空间极端物理环境中压电纳米位移台或压电纳米步进器步进位移的纳米级分辨和宏观大量程测量。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.022 seconds)
