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公开(公告)号：CN111351955A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN202010324744.4
申请日：2020-04-23
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明公开了一种膜片式光纤高灵敏微空间流速测量装置，包括光源、环形器、三明治结构流速传感探头和光谱仪，其中三明治结构流速传感探头由弹性薄膜、有孔耐热玻璃、平板耐热玻璃三者组成；平板耐热玻璃的中心点垂直固定有陶瓷插芯，三明治结构中的有孔耐热玻璃短侧边刻有凹槽、中心刻有通孔，弹性薄膜内表面和平板耐热玻璃内表面形成F-P腔用于感应微空间内流速的变化；本发明通过流经有孔耐热玻璃的流体流动产生的压力带来弹性膜片形变，导致F-P腔的腔长变化，实现流体流速的测量；本发明的传感探头小，灵敏度高，结构紧凑，精度高，抗电磁干扰强，能够适应多种微空间流场合的流速测量。
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