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公开(公告)号：CN218842321U
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202221792568.8
申请日：2022-07-12
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 一种用于多阶段进行硒化硫化制备铜铟镓硒硫薄膜的装置，包括一个具有三温区的管式炉、两个蒸发腔室、一个反应腔室和三个与基底相连的推拉杆，推拉杆中安装有进气管道和排气管道，作用是炉腔内载气的供应和废气的处理。通过以下三个阶段就可以实现同时或多阶段的硒化、硫化反应：反应阶段，将抽屉状的基底推入蒸发腔室和反应腔室，令混合气体从蒸发腔室流向反应腔室进行反应；排气阶段，令混合气体从反应腔室回流到蒸发腔室，并从蒸发腔室排出；基底冷却阶段，通过推拉杆将基底拉至炉腔内的冷却区域进行冷却。其中，在排气阶段使混合气体回流，更大程度地减少硒蒸汽、硫蒸气在反应腔室和管道内的冷凝，避免阻塞管道。
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