基于电磁激励单晶硅谐振梁的热电变换器结构及制造方法

    公开(公告)号:CN109987570B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN201910279116.6

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 本发明公开了基于电磁激励单晶硅谐振梁的热电变换器结构及其制造方法。热电变换器由键合在一起的谐振梁芯片(1)和上盖板(2)组成。加热电阻(4)制作在上盖板(2)的绝热薄膜(5)上。谐振梁(3)的主体材料是单晶硅,采用电磁激励和电磁检测模式,其上制作有激励导线(6)和拾振导线(7),制作在具有良好绝热性能的硼硅玻璃片(9)之上。采用永磁体给谐振梁(3)提供一个平行于芯片表面并与谐振梁(3)垂直的磁场。当加热电阻(4)通入直流电压(或电流)时谐振梁(3)的谐振频率变化量与通入交流电压(或电流)时谐振梁(3)的谐振频率变化量相等时,直流电压(或电流)就是交流电压(或电流)的有效值。本发明所涉及的热电变换器具有以下优点:谐振梁(3)品质因数高、残余应力小。

    基于电磁激励单晶硅谐振梁的热电变换器结构及制造方法

    公开(公告)号:CN109987570A

    公开(公告)日:2019-07-09

    申请号:CN201910279116.6

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 本发明公开了基于电磁激励单晶硅谐振梁的热电变换器结构及其制造方法。热电变换器由键合在一起的谐振梁芯片(1)和上盖板(2)组成。加热电阻(4)制作在上盖板(2)的绝热薄膜(5)上。谐振梁(3)的主体材料是单晶硅,采用电磁激励和电磁检测模式,其上制作有激励导线(6)和拾振导线(7),制作在具有良好绝热性能的硼硅玻璃片(9)之上。采用永磁体给谐振梁(3)提供一个平行于芯片表面并与谐振梁(3)垂直的磁场。当加热电阻(4)通入直流电压(或电流)时谐振梁(3)的谐振频率变化量与通入交流电压(或电流)时谐振梁(3)的谐振频率变化量相等时,直流电压(或电流)就是交流电压(或电流)的有效值。本发明所涉及的热电变换器具有以下优点:谐振梁(3)品质因数高、残余应力小。

    一种突出粉煤-瓦斯气固两相流冲击效应的实验测定装置

    公开(公告)号:CN115718184A

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202211511142.5

    申请日:2022-11-29

    Abstract: 本发明公开一种突出粉煤‑瓦斯气固两相流冲击效应的实验测定装置,包括突出腔体、快速泄压装置、模拟巷道、数据采集系统和气体控制设备;所述突出腔体可拆卸的设置于快速泄压装置一侧;所述快速泄压装置另一侧连接有模拟巷道,设有可变口径的出口;所述数据采集系统电连接于模拟巷道上;所述气体控制设备连接于突出腔体上,用于对突出腔体内的气体进行抽取、注入。本发明通过测定不同突出口径下煤与瓦斯两相流的冲击力,监测了煤与瓦斯两相流的运动规律以及巷道内部压力的变化,实现了对突出气固两相流的监测以及突出后冲击力的测定。

    一种微机械谐振式压力传感器及制造方法

    公开(公告)号:CN113063529A

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN202110299610.6

    申请日:2021-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种微机械谐振式压力传感器及制造方法。所述微机械谐振式压力传感器包括感压膜、支撑梁和谐振梁;所述谐振梁置于感压膜上方,支撑梁根部形成有激励电阻和检查电阻;所述支撑梁形成于谐振梁上方,每个支撑梁根部制作检测电阻用于检测支撑梁根部应变;所述感压膜由经过各向异性腐蚀液腐蚀SOI硅片背面形成;本发明采用梁‑膜一体化结构,改善传感器压力与谐振频率的线性变化,提高传感器的压力灵敏度和线性度;本发明采用双谐振梁差分结构,两个谐振梁具有相同的固有频率,利用差频输出来表征传感器的压力特性,消除了由于温度等环境因素引起的工作梁谐振频率的变化,从而提高了传感器的测量精度和稳定性。

    一种高温熔炼钢液稳流装置

    公开(公告)号:CN218460855U

    公开(公告)日:2023-02-10

    申请号:CN202222125046.9

    申请日:2022-08-12

    Abstract: 本实用新型属于炼钢连铸设备技术领域,尤其涉及一种高温熔炼钢液稳流装置,包括预制筒体,所述预制筒体的内部固定安装有注水槽,所述注水槽包括凹槽、平底、蓄水槽、斜坡和直槽,所述凹槽设置于预制筒体的内部,所述平底固定连接于凹槽的内侧,所述蓄水槽固定安装于凹槽的底部,所述斜坡固定连接于蓄水槽的顶部,所述直槽固定连接于斜坡的顶部。该高温熔炼钢液稳流装置,通过设置的注水槽注入大包钢水且将沿着设凹槽注入,设置的凹槽低于平底的高度,可以达到减缓钢水的冲击速度,当钢水达到平底时,蓄水槽内设置的直槽与斜坡相互作用,钢水对蓄水槽冲刷时,减少钢水涡流,以缓解了大包铸流对中间钢水液面的强烈冲击,可以提高使用寿命,达到稳流效果。

    一种气流磨多级分选装置

    公开(公告)号:CN217962830U

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202221828841.8

    申请日:2022-07-15

    Abstract: 本实用新型公开了一种气流磨多级分选装置,涉及多级分选技术领域,具体一种气流磨多级分选装置,包括气流分选机,气流分选机的顶部设有多级分选机构,多级分选机构包括多个环形罩;环形罩分层叠加且相邻的两个环形罩之间相互连接,在每个环形罩内均设有分选轮,分选轮的一端连接驱动轴,驱动轴的另一端伸至驱动轴外且二者之间通过轴承连接,在每个驱动轴的末端均安装有第一皮带轮;在驱动轴的最下方设有驱动电机,驱动电机的转轴上安装有第二皮带轮。本实用新型在使用时,气流分选机顶部设有多个分选轮,能够对进入气流分选机内的粉料进行充分筛选,筛选效率高,出料速度快。

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