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公开(公告)号：CN115930773A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202210661940.X
申请日：2022-06-13
Applicant: 中国计量大学
IPC: G01B9/04 , G01B9/02 , G01B9/02015
Abstract: 本申请提供了一种基于轻离轴两步相减法的数字全息显微检测装置，检测装置元件包括620nm的LED光源、显微镜和小孔光阑构成的准直扩束系统、偏振元件、第一会聚透镜、分光棱镜、平面反射镜、显微物镜1、第二透镜、显微物镜2、光强衰减片、载物台、机械式微位移台。该方法用分光棱镜将入射光分成参考光和物光；参考光照射平面反射镜上被反射，物光照射焦点放置的被测物上并被反射。经过会聚透镜后CCD采集数据传输到计算机中计算获得物体相位分布。计算时分别拍摄物体全息图与背景全息图以减去外界噪声和显微物镜带来的相位畸变。该装置兼顾CCD视场利用率、测量实时性、系统稳定性。
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