公开(公告)号：CN107064052A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201710282296.4

申请日：2017-04-26

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 韩张华 ,  史晓梅

IPC: G01N21/3586

Abstract: 本发明公开了一种基于微腔谐振模式的太赫兹指纹检测灵敏度增强方法，该方法的步骤为：针对某目标物质，假设其某一特征吸收频率为f0，首先设计一微腔谐振结构使其谐振频率处于f0，然后比较该微腔谐振结构在加载目标物质前后的透过率变化，通过该谐振频率是否漂移来识别目标物质的有无，并通过其透过率下降程度来对目标物质进行定量分析。本发明针对微腔谐振模式透过率对目标物质在f0处材料损耗的高度敏感，相比于传统的纯粹透射方式的指纹检测方法既能保持太赫兹光谱检测的指纹识别特性，又能大幅度提高检测灵敏度，同时实现纳米量级厚度目标物质的识别与测量，适用于不同目标物质、不同探测灵敏度及不同探测范围的高灵敏度指纹检测。

公开(公告)号：CN107064052B

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201710282296.4

申请日：2017-04-26

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 韩张华 ,  史晓梅

IPC: G01N21/3586

Abstract: 本发明公开了一种基于微腔谐振模式的太赫兹指纹检测灵敏度增强方法，该方法的步骤为：针对某目标物质，假设其某一特征吸收频率为f0，首先设计一微腔谐振结构使其谐振频率处于f0，然后比较该微腔谐振结构在加载目标物质前后的透过率变化，通过该谐振频率是否漂移来识别目标物质的有无，并通过其透过率下降程度来对目标物质进行定量分析。本发明针对微腔谐振模式透过率对目标物质在f0处材料损耗的高度敏感，相比于传统的纯粹透射方式的指纹检测方法既能保持太赫兹光谱检测的指纹识别特性，又能大幅度提高检测灵敏度，同时实现纳米量级厚度目标物质的识别与测量，适用于不同目标物质、不同探测灵敏度及不同探测范围的高灵敏度指纹检测。