公开(公告)号：CN214583376U

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202120164191.0

申请日：2021-01-21

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 何美璇 ,  郎婷婷 ,  张锦晖 ,  曹鹏帅 ,  冯诗敏 ,  覃海天 ,  王辰波 ,  魏虹莹 ,  张欢城 ,  张棋

IPC: G01D21/02 ,  G01N21/41 ,  G01K11/00

Abstract: 一种基于石英衬底的金属超构表面双参数传感芯片，该双参数传感芯片由石英衬底和其上的环形金阵列组成，环形金的形状为零型。该传感芯片的透射光谱有两个共振峰，外界环境的温度和折射率变化会引起峰值频率偏移。根据灵敏度矩阵公式，通过检测峰值频率的偏移量，就可以计算得到温度和折射率的改变量，从而实现对待测物折射率和温度的实时监测，两个峰的折射率灵敏度分别为67.9GHz/RIU和142.76GHz/RIU，温度灵敏度分别为6.35MHz/K和7.14MHz/K。该传感芯片具有体积小、灵敏度高、易于制造等优点，具有广阔的应用前景。实现了太赫兹波段温度和折射率的同时测量。