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公开(公告)号：CN115452149A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211242085.5
申请日：2022-10-11
Applicant: 中国计量大学
Abstract: 本发明涉及一种基于模态局部化效应的微机械红外探测器及其系统。该探测器包括：红外光谱通过表面等离子体共振效应实现增强吸收，产生热应力，热应力通过刚度扰动的形式对第一悬臂谐振器、第二悬臂谐振器和耦合悬臂构成的模态局部化微机械系统产生作用，第一悬臂谐振器、第二悬臂谐振器通过耦合悬臂的弱耦合作用，产生模态局部化效应，原本能量分布均衡的第一悬臂谐振器以及第二悬臂谐振器在发生模态局部化效应后，能量集中到第一悬臂谐振器，发生模态振幅剧烈偏移，通过检测第一悬臂谐振器和第二悬臂谐振器的振幅比，测量热应力值，并通过热应力与光谱能量换算关系对红外光谱实现高灵敏度探测。本发明能够提高非制冷型红外热探测器的探测能力。
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