一种七孔探针校准程控转台

    公开(公告)号:CN109342012A

    公开(公告)日:2019-02-15

    申请号:CN201811424386.3

    申请日:2018-11-27

    Abstract: 本发明涉及一种七孔探针校准程控转台,包括支撑台面、探针夹具和转台控制机构,支撑台面尾部设于直角固定块,探针夹具设于直角固定块上,转台控制机构设于支撑台面上,转台控制机构包括水平旋转驱动装置、垂直旋转驱动装置和角位移驱动装置。本发明实现七孔探针高效快速大角度范围内的准确校准。

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