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公开(公告)号：CN213455396U
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202021774643.9
申请日：2020-08-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B21/02
Abstract: 本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构，所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物，所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜，所述干涉镜组靠近激光干涉仪，所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移，所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移，所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上，所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。本实用新型公开的一种线位移标准装置的运动平台结构能够实现检测高精度位移传感器的效果。
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