公开(公告)号：CN102243106B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN201110086112.X

申请日：2011-04-06

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 张大鹏 ,  韩海年 ,  梁志国 ,  叶蓬 ,  魏志义 ,  严家骅 ,  张志权 ,  武腾飞

IPC: G01J9/04

Abstract: 本发明涉及一种用于激光频率测量的拍频装置，属于光电子技术领域。包括第一准直定位小孔光阑、第二准直定位小孔光阑、第三准直定位小孔光阑、第四准直定位小孔光阑、第五准直定位小孔光阑、第六准直定位小孔光阑、第七准直定位小孔光阑、第八准直定位小孔光阑、第一全反镜、第二全反镜、第三全反镜、第四全反镜、第一半波片、第二半波片、偏振分光棱镜、格兰棱镜、光栅、银镜、可调孔径的第九小孔光阑、聚集透镜、雪崩二极管、低噪声放大器、带通滤波器、一维移动平台和隔振光学面板。本发明的拍频装置易于调节和维持拍频光路，能够实现提高拍频信号信噪比以便于利用频率计数器读数及长时间保持高信噪比拍频信号的目的。

公开(公告)号：CN102243106A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN201110086112.X

申请日：2011-04-06

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 张大鹏 ,  韩海年 ,  梁志国 ,  叶蓬 ,  魏志义 ,  严家骅 ,  张志权 ,  武腾飞

IPC: G01J9/04

Abstract: 本发明涉及一种用于激光频率测量的拍频装置，属于光电子技术领域。包括第一准直定位小孔光阑、第二准直定位小孔光阑、第三准直定位小孔光阑、第四准直定位小孔光阑、第五准直定位小孔光阑、第六准直定位小孔光阑、第七准直定位小孔光阑、第八准直定位小孔光阑、第一全反镜、第二全反镜、第三全反镜、第四全反镜、第一半波片、第二半波片、偏振分光棱镜、格兰棱镜、光栅、银镜、可调孔径的第九小孔光阑、聚集透镜、雪崩二极管、低噪声放大器、带通滤波器、一维移动平台和隔振光学面板。本发明的拍频装置易于调节和维持拍频光路，能够实现提高拍频信号信噪比以便于利用频率计数器读数及长时间保持高信噪比拍频信号的目的。

公开(公告)号：CN115930762A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211480720.3

申请日：2022-11-23

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 李艳 ,  孙安斌 ,  张子辰 ,  乔磊 ,  王鲁涛 ,  谷玉海 ,  张志权

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明公开一种气动式高精度电感位移传感器，属于几何量校准领域。本发明包括测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件；测头组件安装在导向组件的底部，与被测件进行球面接触；导向组件实现导向以及气密的功能；复位组件产生的弹簧力使导杆不发生旋转的沿轴向运动，保证标准测头与被测面充分接触，并实现高精度复位；线圈组件将位移量转化成电感量，实现位移量的输出和转化；气动组件形成气腔，在外部供气时导杆向上运动，外部供气断开后在复位组件的作用下导杆向下运动。本发明是一种自动往复运动、高精度、适用于自动化测量的电感位移传感器，在0～100μm微位移量的高精度测量中，测量重复性达到10nm。