公开(公告)号：CN112301321A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN201910711558.3

申请日：2019-08-02

Applicant: 中国航发商用航空发动机有限责任公司

Inventor： 陆涛 ,  王杰 ,  王丽媛

IPC: C23C14/48 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明提供耐冲蚀涂层、其制备方法以及其被覆盖件，其中的耐冲蚀涂层的制备方法使用PIII&D将Ti元素和N元素注入并沉积至基体表面，形成TiN涂层；以及使用PIII&D将Si元素注入到所述TiN涂层，对所述TiN涂层的浅表层进行改性，形成TiSiN层，获得一层耐冲蚀涂层。在所述制备方法的一个或多个实施方式中，重复制备所述TiN涂层和所述TiSiN层至少一次，进而获得多层耐冲蚀涂层。该制备方法提升了硬质涂层的耐冲蚀性能。

公开(公告)号：CN112301321B

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN201910711558.3

申请日：2019-08-02

Applicant: 中国航发商用航空发动机有限责任公司

Inventor： 陆涛 ,  王杰 ,  王丽媛

IPC: C23C14/48 ,  C23C14/06 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明提供耐冲蚀涂层、其制备方法以及其被覆盖件，其中的耐冲蚀涂层的制备方法使用PIII&D将Ti元素和N元素注入并沉积至基体表面，形成TiN涂层；以及使用PIII&D将Si元素注入到所述TiN涂层，对所述TiN涂层的浅表层进行改性，形成TiSiN层，获得一层耐冲蚀涂层。在所述制备方法的一个或多个实施方式中，重复制备所述TiN涂层和所述TiSiN层至少一次，进而获得多层耐冲蚀涂层。该制备方法提升了硬质涂层的耐冲蚀性能。