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公开(公告)号:CN102364325B
公开(公告)日:2014-04-30
申请号:CN201110302754.9
申请日:2011-10-09
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及对低维导电材料的疲劳性能测试系统和测试方法的建立,具体为一种低维导电材料的弯曲疲劳可靠性的测试系统和测试方法,解决现有技术中存在的对导电薄膜材料疲劳寿命测量误差大、无法准确测量裂纹的萌生寿命等问题。该测试系统由电磁驱动部分、疲劳加载与测量部分以及检测与记录部分组成,该系统提供了对各种材料进行动态弯曲疲劳性能测试的功能和测试方法,同时可以对被测试样电阻变化进行实时监测与分析记录。通过记录下的电阻可以准确的得到被测导电试样疲劳寿命、裂纹萌生与扩展寿命等信息。该系统可以同时对多个被测导电试样进行疲劳性能实验,并可同时对每个被测导电试样的电阻值进行实时记录与分析,实验操作简单快捷。
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公开(公告)号:CN102364325A
公开(公告)日:2012-02-29
申请号:CN201110302754.9
申请日:2011-10-09
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及对低维导电材料的疲劳性能测试系统和测试方法的建立,具体为一种低维导电材料的弯曲疲劳可靠性的测试系统和测试方法,解决现有技术中存在的对导电薄膜材料疲劳寿命测量误差大、无法准确测量裂纹的萌生寿命等问题。该测试系统由电磁驱动部分、疲劳加载与测量部分以及检测与记录部分组成,该系统提供了对各种材料进行动态弯曲疲劳性能测试的功能和测试方法,同时可以对被测试样电阻变化进行实时监测与分析记录。通过记录下的电阻可以准确的得到被测导电试样疲劳寿命、裂纹萌生与扩展寿命等信息。该系统可以同时对多个被测导电试样进行疲劳性能实验,并可同时对每个被测导电试样的电阻值进行实时记录与分析,实验操作简单快捷。
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公开(公告)号:CN101236146B
公开(公告)日:2010-05-19
申请号:CN200710010241.4
申请日:2007-01-31
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: G01N3/20
Abstract: 本发明涉及金属薄膜或金属箔等厚度为小尺寸材料的力学性能临界特征尺度测试系统的建立,该系统提供对样品实施微弯曲实验的整套测试装置及具体测试方法。整套测试装置包括基座、推进器、样品加载模具对模、芯轴等。推动推进器,将上模具与下模具扣合,样品在加载对模中受到纯弯曲载荷的作用,直到被测样品按照所接触的芯轴曲率发生完全弯曲变形,通过测算样品弯曲变形的曲率半径可进一步获得材料的力学性能临界特征尺度值。本发明所提供的整套装置和测试方法无需计算对样品所施载荷的大小,只要准确测量加载和卸载样品发生微弯曲变形对应的圆弧曲率半径,便可计算出材料的力学性能临界特征尺度的值。整套装置造价低廉,测试方法实施简单易行。
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公开(公告)号:CN101571467A
公开(公告)日:2009-11-04
申请号:CN200810011238.9
申请日:2008-04-30
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明涉及一种小尺度薄膜材料的动态弯曲疲劳性能测试系统的建立和测试方法。该测试系统由电磁驱动部分、试样夹持部分和测量与观察部分组成,该系统提供了对各种微/纳电子机械系统用有基体支持或无基体支持的薄膜材料、集成电路用金属化互连体箔材料以及各种二维薄板类材料进行动态弯曲疲劳性能测试的功能和测试方法,同时可以对被测试样形貌进行原位的实时监测与分析记录。利用通电线圈在恒定磁场中所受的电磁力驱动悬臂梁试样的自由端相对其平衡位置做往复运动,从而对各类材料试样施加各种类型的循环疲劳载荷,且所施加疲劳载荷的精度可以达到毫牛顿量级,本发明可对各类薄膜材料的疲劳性能及疲劳裂纹扩展行为进行评价。
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公开(公告)号:CN100406376C
公开(公告)日:2008-07-30
申请号:CN200510047804.8
申请日:2005-11-25
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C01B31/02
Abstract: 本发明是关于一种亚微米/微米尺度碳球的制备技术,提供了一种纯度高、球形度高、尺寸分布范围窄、表面光滑、单分散的热解碳球的制备方法。将碳源液体滴注到水平反应器内,碳源液体在稀释气体气流的作用下,挥发并被携带进入反应器恒温区,反应的合成温度为970~1100℃,合成保温时间为5~240分钟,气体碳源在恒温区受热分解,小分子的碳链或单个碳原子由于热运动而发生碰撞,形成碳簇,按照体系能量降低的趋势,发生碳原子按一定规则排布,而形成碳球。本发明的特点在于:1.不使用催化剂;2.通过控制稀释气体(氢气、氩气、氮气)的种类及其在反应器内的分压,在合适的合成反应温度(970~1100℃)下,制备不同尺寸(100nm~1500nm)的热解碳球。
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公开(公告)号:CN100360708C
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200410020531.3
申请日:2004-05-12
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明公开了一种透射电镜用薄膜样品的制备方法,具体步骤为:1)利用磁控溅射方法镀制金属或合金膜,磁控溅射以合金靶为负极,衬底为正极,背底真空度2.0~8.0×10-5Pa;气氛为Ar气氛,真空度6.5~7.5×10-1Pa;电流0.5~2A;电压100~300V;2)在金属或合金膜上冲出圆片;3)将圆片进行双喷减薄或者离子减薄制得电镜观察用的样品。本发明采用磁控溅射的方法,可以获得均匀、致密、易剥离的金属或合金膜,衬底上镀膜的厚度在5~9μm之间,可以直接将磁控溅射镀膜与双喷减薄或者离子减薄相结合制得电镜观察用的样品,解决了电镜用薄膜样品在传统机械减薄过程中容易受到污染、破碎和引入假象的问题。
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公开(公告)号:CN101571467B
公开(公告)日:2012-04-11
申请号:CN200810011238.9
申请日:2008-04-30
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: G01N3/38
Abstract: 本发明涉及一种小尺度薄膜材料的动态弯曲疲劳性能测试系统的建立和测试方法。该测试系统由电磁驱动部分、试样夹持部分和测量与观察部分组成,该系统提供了对各种微/纳电子机械系统用有基体支持或无基体支持的薄膜材料、集成电路用金属化互连体箔材料以及各种二维薄板类材料进行动态弯曲疲劳性能测试的功能和测试方法,同时可以对被测试样形貌进行原位的实时监测与分析记录。利用通电线圈在恒定磁场中所受的电磁力驱动悬臂梁试样的自由端相对其平衡位置做往复运动,从而对各类材料试样施加各种类型的循环疲劳载荷,且所施加疲劳载荷的精度可以达到毫牛顿量级,本发明可对各类薄膜材料的疲劳性能及疲劳裂纹扩展行为进行评价。
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公开(公告)号:CN101131382B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200610047538.3
申请日:2006-08-25
Applicant: 中国科学院金属研究所
Abstract: 本发明涉及对具有微/纳米尺度的薄膜材料、集成电路用金属化互连体薄膜及导线在电/热/力耦合作用下进行可靠性能原位测试与评价的系统搭建及性能测试方法。该系统提供了可原位加工各种形状的微/纳米尺度薄膜材料,利用交、直流电测试材料在电/力/热耦合作用下力学性能和物理性能、以及进行原位的实时三维表征等功能。利用交流电所引起的金属线中的焦耳热及薄膜/基体的热膨胀系数差异形成的热循环应力,对金属薄膜施加热疲劳载荷,结合原位的微观观察及随后的FIB三维表征对具有微/纳米尺度的薄膜材料和各种低维导线进行可靠性测试与评价。本发明搭建的系统集原位微加工、性能测试及表征于一体,测试材料的力学性能以及电迁移等物理性能。
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公开(公告)号:CN101236146A
公开(公告)日:2008-08-06
申请号:CN200710010241.4
申请日:2007-01-31
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: G01N3/20
Abstract: 本发明涉及金属薄膜或金属箔等厚度为小尺寸材料的力学性能临界特征尺度测试系统的建立,该系统提供对样品实施微弯曲实验的整套测试装置及具体测试方法。整套测试装置包括基座、推进器、样品加载模具对模、芯轴等。推动推进器,将上模具与下模具扣合,样品在加载对模中受到纯弯曲载荷的作用,直到被测样品按照所接触的芯轴曲率发生完全弯曲变形,通过测算样品弯曲变形的曲率半径可进一步获得材料的力学性能临界特征尺度值。本发明所提供的整套装置和测试方法无需计算对样品所施载荷的大小,只要准确测量加载和卸载样品发生微弯曲变形对应的圆弧曲率半径,便可计算出材料的力学性能临界特征尺度的值。整套装置造价低廉,测试方法实施简单易行。
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公开(公告)号:CN1970439A
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200510047804.8
申请日:2005-11-25
Applicant: 中国科学院金属研究所
IPC: C01B31/02
Abstract: 本发明是关于一种亚微米/微米尺度碳球的制备技术,提供了一种纯度高、球形度高、尺寸分布范围窄、表面光滑、单分散的热解碳球的制备方法。将碳源液体滴注到水平反应器内,碳源液体在稀释气体气流的作用下,挥发并被携带进入反应器恒温区,反应的合成温度为970~1100℃,合成保温时间为5~240分钟,气体碳源在恒温区受热分解,小分子的碳链或单个碳原子由于热运动而发生碰撞,形成碳簇,按照体系能量降低的趋势,发生碳原子按一定规则排布,而形成碳球。本发明的特点在于:1.不使用催化剂;2.通过控制稀释气体(氢气、氩气、氮气)的种类及其在反应器内的分压,在合适的合成反应温度(970~1100℃)下,制备不同尺寸(100nm~1500nm)的热解碳球。
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