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公开(公告)号：CN104810250A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510202592.X
申请日：2015-04-24
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
CPC classification number: H01L21/30608 , B82Y40/00 , H01L29/0669
Abstract: 一种一维硅纳米线阵列的制备方法，采用“自上而下”金属辅助化学刻蚀法，直接将切洗后的硅片放入稳定的金属盐的氢氟酸水溶液刻蚀液中，在超重力体系中，通过调节离心机的转速、温度、时间一步法可控制备高质量的一维硅纳米线阵列。本发明的制备方法通过在反应过程中引入超重力场，可以一步法制备不同形状的高质量的硅纳米线阵列，缩短反应时间。
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公开(公告)号：CN104810250B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201510202592.X
申请日：2015-04-24
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
Abstract: 一种一维硅纳米线阵列的制备方法，采用“自上而下”金属辅助化学刻蚀法，直接将切洗后的硅片放入稳定的金属盐的氢氟酸水溶液刻蚀液中，在超重力体系中，通过调节离心机的转速、温度、时间一步法可控制备高质量的一维硅纳米线阵列。本发明的制备方法通过在反应过程中引入超重力场，可以一步法制备不同形状的高质量的硅纳米线阵列，缩短反应时间。
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公开(公告)号：CN105013421B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201510313158.9
申请日：2015-06-09
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: B01J19/12
Abstract: 本发明实施例公开了一种用于超重力光电化学反应的设备，包括：离心机，强电传输系统、气相传输系统、控制系统、光源、光源引入系统和光电化学反应装置；所述强电传输系统、气相传输系统和光源引入系统固定在所述离心机的主轴上；所述光电化学反应装置固定在所述离心机的转子上；所述光源位于所述离心机的机盖上；所述气相传输系统与光电化学反应装置相连；所述强电传输系统与所述离心机相连。本发明实施例通过离心机，强电传输系统、气相传输系统、控制系统、光源、光源引入系统和光电化学反应装置，实现了超重力场在光电化学领域的应用。
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公开(公告)号：CN105013421A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510313158.9
申请日：2015-06-09
Applicant: 中国科学院过程工程研究所
IPC: B01J19/12
Abstract: 本发明实施例公开了一种用于超重力光电化学反应的设备，包括：离心机，强电传输系统、气相传输系统、控制系统、光源、光源引入系统和光电化学反应装置；所述强电传输系统、气相传输系统和光源引入系统固定在所述离心机的主轴上；所述光电化学反应装置固定在所述离心机的转子上；所述光源位于所述离心机的机盖上；所述气相传输系统与光电化学反应装置相连；所述强电传输系统与所述离心机相连。本发明实施例通过离心机，强电传输系统、气相传输系统、控制系统、光源、光源引入系统和光电化学反应装置，实现了超重力场在光电化学领域的应用。
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