公开(公告)号：CN102946685A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：CN201210390957.2

申请日：2012-10-15

Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所

Inventor： 汤洁 ,  段忆翔 ,  赵卫 ,  王屹山 ,  姜炜曼 ,  李世博

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明旨在提供一种大气压诱导空气介质阻挡放电低温等离子体发生装置。该装置包括具有介质阻挡放电电极结构的放电单元和接于放电单元前端的窄缝腔体，所述放电单元包括相对设置的两个平板电极，在高压电极的内侧平面固定设置有用以限制两平板电极之间放电电流的绝缘介质平板；待处理样品为平板状，与绝缘介质平板平行相对、活动安装于接地电极的内侧平面上；所述窄缝腔体具有用以接入诱导气体的进气端口和窄缝状的出气端口，出气端口嵌入绝缘介质平板与待处理样品之间。本发明的等离子体发生装置能够产生均匀弥散的等离子体，该等离子体富含亚稳态氮分子、氢氧基和氧原子等活性物种，可以用来进行物质表面改性和灭菌消毒等。

公开(公告)号：CN102946685B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201210390957.2

申请日：2012-10-15

Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所

Inventor： 汤洁 ,  段忆翔 ,  赵卫 ,  王屹山 ,  姜炜曼 ,  李世博

IPC: H05H1/24

Abstract: 本发明旨在提供一种大气压诱导空气介质阻挡放电低温等离子体发生装置。该装置包括具有介质阻挡放电电极结构的放电单元和接于放电单元前端的窄缝腔体，所述放电单元包括相对设置的两个平板电极，在高压电极的内侧平面固定设置有用以限制两平板电极之间放电电流的绝缘介质平板；待处理样品为平板状，与绝缘介质平板平行相对、活动安装于接地电极的内侧平面上；所述窄缝腔体具有用以接入诱导气体的进气端口和窄缝状的出气端口，出气端口嵌入绝缘介质平板与待处理样品之间。本发明的等离子体发生装置能够产生均匀弥散的等离子体，该等离子体富含亚稳态氮分子、氢氧基和氧原子等活性物种，可以用来进行物质表面改性和灭菌消毒等。

公开(公告)号：CN203015262U

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201220529210.6

申请日：2012-10-15

Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所

Inventor： 汤洁 ,  段忆翔 ,  赵卫 ,  王屹山 ,  姜炜曼 ,  李世博

IPC: H05H1/24

Abstract: 本实用新型旨在提供一种大气压诱导空气介质阻挡放电低温等离子体发生装置。该装置包括具有介质阻挡放电电极结构的放电单元和接于放电单元前端的窄缝腔体，所述放电单元包括相对设置的两个平板电极，在高压电极的内侧平面固定设置有用以限制两平板电极之间放电电流的绝缘介质平板；待处理样品为平板状，与绝缘介质平板平行相对、活动安装于接地电极的内侧平面上；所述窄缝腔体具有用以接入诱导气体的进气端口和窄缝状的出气端口，出气端口嵌入绝缘介质平板与待处理样品之间。本实用新型的等离子体发生装置能够产生均匀弥散的等离子体，该等离子体富含亚稳态氮分子、氢氧基和氧原子等活性物种，可以用来进行物质表面改性和灭菌消毒等。