公开(公告)号：CN118131392A

公开(公告)日：2024-06-04

申请号：CN202410192927.3

申请日：2024-02-21

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所

Inventor： 周连群 ,  刘轩硕 ,  李传宇 ,  郭振 ,  高庆学 ,  黄润虎 ,  张威 ,  张芷齐 ,  姚佳 ,  李金泽 ,  张月业 ,  李超

IPC: G02B6/12 ,  G01N21/64 ,  B82Y40/00 ,  B82Y15/00 ,  G02B6/136

Abstract: 本发明涉及半导体器件技术领域，公开了零模波导芯片及其制备方法、零模波导检测系统。零模波导芯片包括半导体衬底、第一膜层和第二膜层，第一膜层设置在半导体衬底上，第一膜层上设置有第一纳米孔；第二膜层设置在半导体衬底和第一膜层之间，第二膜层上设置有第二纳米孔；第二纳米孔与第一纳米孔连通，适于形成设置待测样品的激发区域，且第二纳米孔的径向尺寸小于第一纳米孔的径向尺寸。荧光发射光照射在双层纳米孔结构的第二膜层表面，在第二纳米孔附近形成强局域场，激发区域限制在纳米孔底部很小范围内覆盖第二纳米孔内的待测样品，使待测样品的发射光集中来自这一小的激发区域，背景噪声降到最低，提高零模波导芯片的信噪比及荧光检测的准确性。