公开(公告)号：CN114755303A

公开(公告)日：2022-07-15

申请号：CN202210507446.8

申请日：2022-05-10

Applicant: 中国科学院空间应用工程与技术中心

Inventor： 李永正 ,  易难 ,  李昕昕 ,  孙卓午 ,  邓雪丽

IPC: G01N29/04 ,  G01N29/22 ,  G01N1/34 ,  B08B5/02 ,  B08B13/00

Abstract: 本发明涉及一种塑封集成电路批量超声波扫描检查装置及方法，塑封集成电路批量超声波扫描检查装置包括第一托盘和第二托盘，第一托盘以及第二托盘均为平板状结构；第一托盘上开设有多个贯穿第一托盘相对两边的第一通槽，第一通槽的一端槽口设有第一进气半管；第二托盘上开设有多个贯穿第二托盘相对两边的第二通槽，第二通槽的一端槽口设有第二进气半管；第二托盘能够扣合在第一托盘上，并使第一通槽和第二通槽合围形成容纳塑封集成电路的容纳腔，第一进气半管和第二进气半管合围形成进气管。本发明能够解决塑封集成电路在超声波扫描检测项目中在水中摆放和翻面效率较低以及附着气泡难以清除的问题，可有效提高该项检验工作的工作效率和准确度。