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公开(公告)号:CN111704733B
公开(公告)日:2024-04-12
申请号:CN201910204821.X
申请日:2019-03-18
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明提供一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置,所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统,采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置。所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶,可根据需求对控制系统设置相应参数,精确控制蠕动泵的运行、停止时间,循环次数,反应容器内温度,从而自动地、准确地、高效地、节省人力地制备高质量的薄膜材料,具有合成速度快、制备效率高、反应温度可控、薄膜厚度可控、成本低以及操作简单等优点。
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公开(公告)号:CN111704733A
公开(公告)日:2020-09-25
申请号:CN201910204821.X
申请日:2019-03-18
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明提供一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置,所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统,采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置。所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶,可根据需求对控制系统设置相应参数,精确控制蠕动泵的运行、停止时间,循环次数,反应容器内温度,从而自动地、准确地、高效地、节省人力地制备高质量的薄膜材料,具有合成速度快、制备效率高、反应温度可控、薄膜厚度可控、成本低以及操作简单等优点。
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公开(公告)号:CN210261614U
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:CN201920341539.1
申请日:2019-03-18
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本实用新型提供一种全自动蠕动泵式制备薄膜的装置,所述装置是利用蠕动泵全自动控制系统,采用液相外延生长法在基底上制备薄膜的装置。所述装置包括恒温循环器、蠕动泵、控制系统、反应容器、溶液瓶,可根据需求对控制系统设置相应参数,精确控制蠕动泵的运行、停止时间,循环次数,反应容器内温度,从而自动地、准确地、高效地、节省人力地制备高质量的薄膜材料,具有合成速度快、制备效率高、反应温度可控、薄膜厚度可控、成本低以及操作简单等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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