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公开(公告)号:CN102554465A
公开(公告)日:2012-07-11
申请号:CN201210028317.7
申请日:2012-02-08
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
Abstract: 本发明涉及一种应用于激光加工的旋转光学设计。由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成;可以实现高质量孔形、高径深比微孔高效加工,同时可以调整微孔锥度。本发明对于降低旋转光学技术难度和成本实现产业化,具有重要的实际意义。
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公开(公告)号:CN102554465B
公开(公告)日:2016-07-20
申请号:CN201210028317.7
申请日:2012-02-08
Applicant: 中国科学院福建物质结构研究所
IPC: B23K26/082 , B23K26/38
Abstract: 本发明涉及一种应用于激光加工的旋转光学设计。由偏振器,λ/4波片,高速旋转电机,全反镜,聚焦镜组等组成;可以实现高质量孔形、高径深比微孔高效加工,同时可以调整微孔锥度。本发明对于降低旋转光学技术难度和成本实现产业化,具有重要的实际意义。
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