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公开(公告)号：CN119317010A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411655949.5
申请日：2024-11-19
Applicant: 中国科学院电工研究所
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明提出一种获得等离子体电子密度的诊断系统，包括电压探头、电流探头、示波器、电源、电脑、光谱诊断系统、等离子体反应器，反应器由高压电极与低压电极组成，所述的反应器由电源激励产生等离子体，电压探头测量高压电极与低压电极之间激励电压随时间的变化，电流探头测量等离子体中放电电流随时间的变化，电脑自动调用程序，通过建立的等离子体电子密度与放电电压、放电电流之间的关系，能够获得等离子体电子密度随放电时间变化的曲线。光谱诊断系统包括光谱仪和光纤探头，用于诊断等离子体中气体温度与电子温度。该发明所述的等离子体电子密度诊断方法适用于等离子体放电通道尺寸已知的反应器等离子体电子密度测量，解决了高分辨率光谱仪无法测量低密度等离子体电子密度的缺点，具有测量装置系统和方法简单，非介入式、无测量下限与上限的优点。
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公开(公告)号：CN115208229B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202210916262.7
申请日：2022-08-01
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明提出一种电感储能脉冲发生器，其将感应叠加与电感储能相结合，利用感应叠加原理实现多模块电压叠加，用电感储能替代传统的电容储能，提升脉冲电源功率密度，减少体积。本发明旨在减少开关数量、开关功率等级、开关的情况下，采用少许元器件，即可实现快前沿、高压重频脉冲输出。本发明采用感应叠加技术获得输出电压倍增，通过增加多级电感储能模块数量以及变压器的副边绕组个数，即可增加输出电压等级，具有良好的可拓展性和更高的储能密度，此外，本发明的脉冲发生器还具有简易可行、小型化、低成本、各级接地的优势。
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公开(公告)号：CN114793057A
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202210492815.0
申请日：2022-05-07
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明公开一种介质放电用电压叠加电路及实验方法。本发明采用少量电阻、电容构成无源型电压复合电路，与有源器件相比，可以提高输出电压幅值3～5个数量级。在该电路中，电阻除了限流保护，还起到类似电感阻隔脉冲波向直流源传播的作用。在满足绝缘介质击穿、闪络所需的高电压、大电流的同时，能有效保护直流源与脉冲源，实现直流叠加毫秒、微秒或纳秒等不同脉宽脉冲的电压波形输出。相比于现有的技术，本发明可简单、安全、高效的输出高幅值复杂电压波形，且波形基本无畸变，具备成本低廉、结构紧凑、体积小巧等优点，适合模拟各种直流叠加任意脉冲运行工况下的电压输出波形。
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公开(公告)号：CN115208229A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210916262.7
申请日：2022-08-01
Applicant: 中国科学院电工研究所
Abstract: 本发明提出一种电感储能脉冲发生器，其将感应叠加与电感储能相结合，利用感应叠加原理实现多模块电压叠加，用电感储能替代传统的电容储能，提升脉冲电源功率密度，减少体积。本发明旨在减少开关数量、开关功率等级、开关的情况下，采用少许元器件，即可实现快前沿、高压重频脉冲输出。本发明采用感应叠加技术获得输出电压倍增，通过增加多级电感储能模块数量以及变压器的副边绕组个数，即可增加输出电压等级，具有良好的可拓展性和更高的储能密度，此外，本发明的脉冲发生器还具有简易可行、小型化、低成本、各级接地的优势。
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