公开(公告)号：CN114959577A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210666084.7

申请日：2022-06-09

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 王立平 ,  徐小萍 ,  常可可 ,  陈雷雷 ,  徐凯 ,  娄明

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  G16C20/30

Abstract: 本发明公开了一种Cr基多主元氮化物涂层及其制备方法与应用。所述Cr基多主元氮化物涂层的化学表达式为CrM1M2N，M1、M2均独立地选自Nb、Mo、Ta、W、Ti、Sc、Hf等。所述制备方法包括：采用第一性原理计算方法获取不同元素组成和不同成分的涂层的体模量和剪切模量，并依据力学性能预测模型计算涂层的硬度和弹性模量，从而确定最佳的M1元素和M2元素，再依据设计出的材料体系，采用磁控溅射共沉积技术，在基材表面沉积CrM1M2N涂层，制备所述Cr基多主元氮化物涂层。本发明获得的Cr基多主元氮化物涂层具有高硬度和弹性模量，有望用于轴承、齿轮等关键零部件表面来保证机械加工稳定性、高效和高精度。

公开(公告)号：CN114959577B

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202210666084.7

申请日：2022-06-09

Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

Inventor： 王立平 ,  徐小萍 ,  常可可 ,  陈雷雷 ,  徐凯 ,  娄明

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  G16C20/30

Abstract: 本发明公开了一种Cr基多主元氮化物涂层及其制备方法与应用。所述Cr基多主元氮化物涂层的化学表达式为CrM1M2N，M1、M2均独立地选自Nb、Mo、Ta、W、Ti、Sc、Hf等。所述制备方法包括：采用第一性原理计算方法获取不同元素组成和不同成分的涂层的体模量和剪切模量，并依据力学性能预测模型计算涂层的硬度和弹性模量，从而确定最佳的M1元素和M2元素，再依据设计出的材料体系，采用磁控溅射共沉积技术，在基材表面沉积CrM1M2N涂层，制备所述Cr基多主元氮化物涂层。本发明获得的Cr基多主元氮化物涂层具有高硬度和弹性模量，有望用于轴承、齿轮等关键零部件表面来保证机械加工稳定性、高效和高精度。