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公开(公告)号：CN105444878A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410495736.0
申请日：2014-09-24
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度氧碘化学激光远场光束质量测量装置，包括衰减分光镜、近场光强分布测量装置、聚焦透镜、分束器、两个光斑测量装置及数据处理单元；激光束的光路上设有分光器，分光器的一个输出光路上设有近场光强分布测量装置，另一输出光路上依次设有聚焦透镜和分束器，分束器的两个输出光路上分别设有光斑测量装置，所述光斑测量装置与近场光强分布测量装置均与数据处理单元连接。其方法为：控制两个导轨位于设定位置；数据处理单元根据光斑图像和近场光腔分布测量装置采集的强光光束的近场强度分布数据得到光束的远场光束质量数据。本发明由于采及图形远离焦点，减小了CCD动态范围引入的测量误差，同时也降低了对成像系统的焦距要求。
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公开(公告)号：CN104953458A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201410114591.5
申请日：2014-03-25
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01S3/13
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光加热补偿镜及其使用方法。该光加热补偿镜包括镜体、激光衰减器和激光扩束系统和光阑；热补偿时，部分激光从开有中心通孔的镜体中心透过，然后依次经激光衰减器调节热补偿能量、经由凹透镜和凹面镜组成的激光扩束系统调节热补偿光束直径和经由光阑调节热补偿加热范围后照射到镀有高吸收膜的镜子背面进行热补偿。该发明可以利用激光器本身的光能实现激光腔镜的均匀热补偿，将激光腔镜光斑部分热变形降低至原来的1/40以下。
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公开(公告)号：CN105022409A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201410161280.4
申请日：2014-04-21
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明涉及一种快速自准直反射镜自适应振动抑制跟踪控制方法，属非线性系统振动控制领域。包括通过FX-RLS前馈控制器和FX-RLS反馈控制器对参考信号与扰动信号非全相关的情况进行振动主动控制；比例积分控制器用来改善系统的稳定性和鲁棒性，并对初始光束漂移进行校正；快速迟滞补偿器补偿快速自准直反射镜中存在的动态迟滞非线性。FX-RLS前馈控制器、FX-RLS反馈控制器和比例积分控制器并联后与快速迟滞补偿器串联，产生的控制信号经功率放大器输出至快速自准直反射镜中的驱动器，使镜面发生转动从而调节激光光束的反射角度，达到对输出光束的实时稳定控制。本发明具有实时性强、稳定性高、高精度控制的优点，实现了快速自准直反射镜在振动环境中对光束的稳定跟踪控制。
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公开(公告)号：CN104953458B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201410114591.5
申请日：2014-03-25
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01S3/13
Abstract: 本发明的目的在于提供一种光加热补偿镜及其使用方法。该光加热补偿镜包括镜体、激光衰减器和激光扩束系统和光阑；热补偿时，部分激光从开有中心通孔的镜体中心透过，然后依次经激光衰减器调节热补偿能量、经由凹透镜和凹面镜组成的激光扩束系统调节热补偿光束直径和经由光阑调节热补偿加热范围后照射到镀有高吸收膜的镜体背面进行热补偿。该发明可以利用激光器本身的光能实现激光腔镜的均匀热补偿，将激光腔镜光斑部分热变形降低至原来的1/40以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104979742B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201410143863.4
申请日：2014-04-11
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01S3/00
Abstract: 本发明涉及氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法，包括：主控模块、算法模块、数据采集模块、电机控制模块、数字I/O模块、电机驱动数字I/O模块、通讯模块、显示单元和电源模块；方法包括主控模块实时采集压力传感器的腔内压力数据并显示，判断采集腔内压力数据是否超出光腔内压力允许范围；算法模块根据光腔内压力数据发送指令给数字IO模块进而控制电磁阀开关实现压力调节；通过显示单元发送控制信号给电机控制模块进而控制腔镜的X方向和Y方向的电机进行调节，并实时监测电机运行状态。本发明具有实时性强、稳定性高、操作简单、开发成本低等优点，特别适用于氧碘化学激光器的光学谐振腔中。
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公开(公告)号：CN105022409B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201410161280.4
申请日：2014-04-21
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: G05D3/12
Abstract: 本发明涉及一种快速自准直反射镜自适应振动抑制跟踪控制方法，属非线性系统振动控制领域。包括通过FX‑RLS前馈控制器和FX‑RLS反馈控制器对参考信号与扰动信号非全相关的情况进行振动主动控制；比例积分控制器用来改善系统的稳定性和鲁棒性，并对初始光束漂移进行校正；快速迟滞补偿器补偿快速自准直反射镜中存在的动态迟滞非线性。FX‑RLS前馈控制器、FX‑RLS反馈控制器和比例积分控制器并联后与快速迟滞补偿器串联，产生的控制信号经功率放大器输出至快速自准直反射镜中的驱动器，使镜面发生转动从而调节激光光束的反射角度，达到对输出光束的实时稳定控制。本发明具有实时性强、稳定性高、高精度控制的优点，实现了快速自准直反射镜在振动环境中对光束的稳定跟踪控制。
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公开(公告)号：CN102147524A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201010108376.6
申请日：2010-02-10
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明属主动光学技术领域，一种可变曲率反射镜装置，包括反射镜、支撑环、驱动环、压电陶瓷驱动器、后盖板，驱动环为环状结构，支撑环为带固定臂的环状结构，支撑环通过固定臂与后盖板相固接，在支撑环和后盖板之间依次设置有反射镜、驱动环和压电陶瓷驱动器；压电陶瓷驱动器的一端与后盖板相贴接，另一端与驱动环相贴接；反射镜的工作面一侧与支撑环相贴接，另一侧与驱动环相贴接。其主要思路是利用一个压电陶瓷驱动器产生推力，通过特定的机械结构传递推力，使反射镜产生抛物面形的微小变形，达到改变反射镜曲率的目的。
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公开(公告)号：CN104979742A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410143863.4
申请日：2014-04-11
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01S3/00
Abstract: 本发明涉及氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法，包括：主控模块、算法模块、数据采集模块、电机控制模块、数字I/O模块、电机驱动数字I/O模块、通讯模块、显示单元和电源模块；方法包括主控模块实时采集压力传感器的腔内压力数据并显示，判断采集腔内压力数据是否超出光腔内压力允许范围；算法模块根据光腔内压力数据发送指令给数字IO模块进而控制电磁阀开关实现压力调节；通过显示单元发送控制信号给电机控制模块进而控制腔镜的X方向和Y方向的电机进行调节，并实时监测电机运行状态。本发明具有实时性强、稳定性高、操作简单、开发成本低等优点，特别适用于氧碘化学激光器的光学谐振腔中。
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公开(公告)号：CN101383475A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200710012766.1
申请日：2007-09-07
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及高功率氧碘化学激光器，具体地说是一种光学谐振腔中的腔镜防污染方法及专用装置，在氧碘化学激光器的光腔盒与氧碘混合喷管间设置磁电晕除尘器，采用低气压负直流高压磁增强电晕放电，对穿越光腔盒入口的污染颗粒进行荷电及污染物的扑集净化，达到腔镜防污染的目的。本发明采用腔镜防污染设置，在不妨碍激光器正常运行的前提下，有效防止上述污染颗粒对腔镜的污染，从而实现保护光学元件提高激光输出光束质量的目的。
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