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公开(公告)号：CN119797374A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411825730.5
申请日：2024-12-11
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: C01B33/14 , C01B33/145 , C09G1/02 , H01L21/304 , B82Y40/00 , B82Y30/00
Abstract: 本申请公开了一种高纯度纳米氧化硅胶体及其制备方法和应用。包括以下步骤：(1)将水、醇和有机胺混合，得到混合液I；(2)将有机硅烷与醇混合，得到混合液II；(3)将混合液I与混合液II混合，保温，搅拌，陈化，溶剂交换，得到所述高纯度纳米氧化硅胶体。制备的全过程在PE、PP、PFTE、PFA等不含有金属成分的材料制成的设备、仪器、管道、容器中进行，有利于避免引入金属阳离子，从而缓解后者吸附于抛光后的晶圆表面，或者扩散进入晶圆的问题，防止影响晶圆的电学性能，提升产品良率。
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