公开(公告)号：CN116936337A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202210357596.5

申请日：2022-04-07

Applicant: 中国科学院大学

Inventor： 束继年 ,  程诗宇 ,  杨波 ,  张作建 ,  李震

IPC: H01J61/30 ,  H01J61/36

Abstract: 本发明涉及脉宽可调的脉冲真空紫外灯，由固体继电器、2650 kHz射频发生器、耦合器和等离子放电腔组成。等离子放电腔由石英灯管、金属灯泡、氟化锂或氟化镁窗片、窗片固定盖、石英灯管固定盘、石英灯管密封圈和窗片密封圈构成。耦合器由耦合器支撑杆、铁氧体磁芯和激发线圈构成。等离子放电腔的中央是石英灯管，石英灯管内放置耦合器，等离子放电腔的真空紫外光输出端装有氟化锂或氟化镁窗片。2650 kHz射频发生器经固体继电器连接220V/110V电源插座，固体继电器工作状态由一个3‒10 V的脉冲电压控制。射频发生器产生的射频电流流经耦合器，激发等离子放电腔内的发光介质气体，形成等离子体，进而产生真空紫外光。产生的真空紫外光经氟化锂或氟化镁窗片输出。脉冲真空紫外光的脉宽由控制固体继电器的3‒10 V的脉冲电压的脉宽决定，从而形成脉宽可调的脉冲真空紫外光。

公开(公告)号：CN117438281A

公开(公告)日：2024-01-23

申请号：CN202210829979.8

申请日：2022-07-15

Applicant: 中国科学院大学

Inventor： 束继年 ,  于彰淇 ,  程诗宇 ,  张作建 ,  杨波

IPC: H01J49/10 ,  H01J49/14

Abstract: 本发明涉及的微通道窗片真空紫外灯由放电气体进气管、放电气体流动腔、石英放电管、放电气体出气管、放电管密封盖、放电管密封圈、射频激发线圈、微通道窗片、窗片密封圈、窗片底板、屏蔽筒构成，放电气体为低压惰性气体，惰性气体由射频产生的感应磁场激发产生等离子体，等离子体发出的真空紫外光经微通道窗片射出形成真空紫外光源。本发明可有效降低无窗真空紫外灯向真空系统释放的放电气体量，利用氦、氖、氩、氪和氙等惰性气体射频放电可输出58.4至147.6 nm的真空紫外光。

公开(公告)号：CN116959954A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202210389165.7

申请日：2022-04-14

Applicant: 中国科学院大学

Inventor： 束继年 ,  杨波 ,  张作建

IPC: H01J61/30 ,  H01J61/36

Abstract: 本发明涉及的2650kHz射频感应真空紫外灯，由2650 kHz射频发生器、射频耦合器铝合金杆、真空紫外灯铝合金底座、空心柱状高温玻璃灯泡、激发线圈、铁氧体磁芯和可透射真空紫外光的窗片组成。射频耦合器铝合金杆、激发线圈和铁氧体磁芯构成射频耦合器。该灯采用2650kHz射频结合导磁材料耦合技术产生真空紫外光，2650 kHz射频发生器和射频耦合器是商业化照明无极灯的射频发生器和耦合器。灯泡内封有30帕到300帕的氩气、氪气、氙气或其与氦气的混合气体。射频发生器产生射频电流流过缠在铁氧体磁芯上的激发线圈，产生感应磁场激发灯泡内的惰性气体形成等离子体放电，等离子体产生的真空紫外光经可透射真空紫外光的窗片输出出来。