公开(公告)号：CN111076900B

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN201911279497.4

申请日：2019-12-13

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司 ,  中国科学院国家天文台

Inventor： 黎龙辉 ,  张臣 ,  金戈 ,  袁为民 ,  张双南 ,  顾燕 ,  孙建宁 ,  张振 ,  徐昭 ,  姜博文

IPC: G01M11/02 ,  G01T1/24 ,  G01T1/29

Abstract: 发明公开了一种测量平面龙虾眼光学器件聚焦性能的真空测试装置和方法，该测试装置主要以真空系统为主体，搭载X射线光源、CMOS探测器、平面龙虾眼光学器件(Micro Pore Optic,简记为MPO)、刀口狭缝系统和位移控制系统，利用平面MPO光学器件的点对点聚焦成像特性实现对平面MPO质量的过程检测，检测参数主要包括X射线焦距、焦斑半高宽包围直径(Full Width at Half Maximum,简记为FWHM)，角分辨率、均匀性和有效面积等关键技术指标。本发明测量精度高，能够准确获取不同位置处成像信息，可实现对平面MPO光学器件质量的X射线检测，有助于发现质量问题，指导工艺生产，进而提高平面MPO聚焦性能。

公开(公告)号：CN115218832A

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202110401414.5

申请日：2021-04-14

Applicant: 中国科学院国家天文台

Inventor： 贾振卿 ,  张臣 ,  凌志兴 ,  金戈 ,  黎龙辉

IPC: G01B15/00

Abstract: 本发明提供一种微孔光学元件的偏置角测量装置及测量方法，装置包括：可见光光源、X射线源、半反透镜以及探测器；其中，待测量的微孔光学元件安装在所述半反透镜与所述X射线源之间，且所述微孔光学元件的凹面面向所述半反透镜；所述X射线源所发出的X射线依次穿过待测量的微孔光学元件以及所述半反透镜，照射到所述探测器上；可见光光源所发出的可见光经所述半反透镜反射后到达所述微孔光学元件的凹面，经所述微孔光学元件的凹面反射的可见光与所述X射线同轴，并穿过所述半反透镜，照射到所述探测器上；探测器用于采集可见光聚焦图像的焦点位置以及X射线聚焦图像的焦点位置。

公开(公告)号：CN111076900A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201911279497.4

申请日：2019-12-13

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司 ,  中国科学院国家天文台

Inventor： 黎龙辉 ,  张臣 ,  金戈 ,  袁为民 ,  张双南 ,  顾燕 ,  孙建宁 ,  张振 ,  徐昭 ,  姜博文

IPC: G01M11/02 ,  G01T1/24 ,  G01T1/29

Abstract: 发明公开了一种测量平面龙虾眼光学器件聚焦性能的真空测试装置和方法，该测试装置主要以真空系统为主体，搭载X射线光源、CMOS探测器、平面龙虾眼光学器件(Micro Pore Optic,简记为MPO)、刀口狭缝系统和位移控制系统，利用平面MPO光学器件的点对点聚焦成像特性实现对平面MPO质量的过程检测，检测参数主要包括X射线焦距、焦斑半高宽包围直径(Full Width at Half Maximum,简记为FWHM)，角分辨率、均匀性和有效面积等关键技术指标。本发明测量精度高，能够准确获取不同位置处成像信息，可实现对平面MPO光学器件质量的X射线检测，有助于发现质量问题，指导工艺生产，进而提高平面MPO聚焦性能。