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发明公开
使用单向光注入调制的激光器阵列审中-实审

公开(公告)号：CN115603177A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211160594.3

申请日：2022-09-22

Applicant: 中国科学院半导体研究所(CN)

Inventor： 郭宁 , 张杨 , 曾一平 , 关敏 , 杨尚宇

IPC: H01S5/42 , H01S5/40 , H01S5/06 , G02B6/124 , G02B6/12

Abstract: 本发明涉及硅基光电子学技术领域，提供一种使用单向光注入调制的激光器阵列，包括：阵列排布的多个激光器单元，每个激光器单元包括：波导光栅耦合器、主激光器和从激光器；波导光栅耦合器包括：光栅单元、波导单元和氧化单元；其中，光栅单元包括第一光栅和第二光栅，波导单元的两侧下方分别与第一光栅和第二光栅相连，氧化单元位于波导单元的上表面；主激光器位于第一光栅的下方，从激光器位于第二光栅的斜下方，且从激光器的出光区域在水平方向上的投影与第二光栅在水平方向上的投影不重叠。本发明可以采用简单的工艺和结构实现波导光的单向注入。

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