公开(公告)号：CN103293107A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310268465.0

申请日：2013-06-28

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 龚萍 ,  谢亮 ,  王瑞 ,  袁海庆

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明公开了一种基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置，包括DFB激光器、调制电流源、温度控制器、控制箱、功率分配器、任意波形发生器、锁相放大器、基座、套管、尾纤连接器、自聚焦透镜、石英音叉和电脑，其中：调制电流源和温度控制器分别控制DFB激光器的注入电流和工作温度，使DFB激光器的输出波长在1370nm附近有一个较强的水汽吸收峰；任意波形发生器提供调制信号，周期性的调制DFB激光器的输出光频率；DFB激光器输出光通过自聚焦透镜后，聚焦光束的焦点位于石英音叉两臂之间的间隙中，通过石英音叉检测光与吸收气体相互作用下产生的光声光谱信号，经锁相放大器放大后输出给电脑，由电脑实时显示测量到的空气湿度。

公开(公告)号：CN102662086A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201210119169.X

申请日：2012-04-20

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 王瑞 ,  谢亮 ,  祝宁华

IPC: G01Q60/18

Abstract: 一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜，包括：一微纳操作臂；一石英音叉固定于微纳操作臂的前端；一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上；一样品扫描台位于石英音叉的下方；一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接；一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接；一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接，其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接，另一输出端与样品扫描台的输入端相连接；一探测器和/或光源，该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力，同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力，占用空间小，非常便于与其他显微表征手段相结合。

公开(公告)号：CN103528798A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310498613.8

申请日：2013-10-22

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 杨惠霞 ,  谢亮 ,  王瑞

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明公开了一种基于扫描近场光学显微镜的对光波导通光性能进行测试的方法，该方法基于包括激光器、具有光波导的光波导器件、扫描驱动装置、输入近场光纤探针、输出近场光纤探针、信号发生器、锁相放大器、微纳操作臂、探测设备、控制箱和计算机的测试系统实现，包括：首先把制备的波导器件用胶粘剂粘在样品盒上；然后通过电镜寻找到光波导的位置，通过微纳操作臂将近场光纤探针移到光波导的某处，通过输入近场光纤探针引入光信号；输出光信号经输出近场光纤探针传输到探测设备中；通过扫描台驱动光波导在X和Y方向逐点扫描，得到整个光波导的近场光学图像；完成光波导芯片的测试。利用本发明，能够精确测试光波导器件的通光性能。

公开(公告)号：CN102662086B

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201210119169.X

申请日：2012-04-20

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 王瑞 ,  谢亮 ,  祝宁华

IPC: G01Q60/18

Abstract: 一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜，包括：一微纳操作臂；一石英音叉固定于微纳操作臂的前端；一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上；一样品扫描台位于石英音叉的下方；一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接；一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接；一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接，其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接，另一输出端与样品扫描台的输入端相连接；一探测器和/或光源，该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力，同时又具有大范围移动的灵活性和多自由度操作能力，占用空间小，非常便于与其他显微表征手段相结合。

公开(公告)号：CN102684059A

公开(公告)日：2012-09-19

申请号：CN201210118668.7

申请日：2012-04-20

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 王瑞 ,  鞠煜 ,  谢亮 ,  祝宁华

IPC: H01S3/13

Abstract: 一种基于石英音叉增强气体光声光谱的可调谐激光稳频装置，包括：一可调谐激光器；一调制电流源，其输出端与可调谐激光器的输入端连接；一温度控制器，其输出端与可调谐激光器的输入端连接；一光纤耦合器，其输入端与可调谐激光器的输出端连接；一密闭气室，其一侧壁安装光纤聚焦透镜，该光纤聚焦透镜伸入到密闭气室内；一石英音叉，位于密闭气室内；一前置放大器，其接收石英音叉输出的信号；一相敏检波器，其输入端与前置放大器的输出端连接；一控制箱，其输入端与相敏检波器的输出端连接，该控制箱的两个输出端控制调制电流源和温度控制器。其能够解决传统直接吸收法气体吸收光谱稳频技术中存在的背景噪声强、体积大、结构稳定性差等问题。