公开(公告)号：CN114284864A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN202111618575.6

申请日：2021-12-27

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 黄志涛 ,  曲胜春 ,  王智杰 ,  刘孔 ,  贾晓皓 ,  储凯闻 ,  孙佳倩 ,  李超

IPC: H01S5/10 ,  H01S5/06 ,  H01S5/30 ,  B82Y20/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本公开提供一种电声调谐等离激元激光器及其制备方法，电声调谐等离激元激光器包括压电晶体、金属光栅、纳米线以及金属电极。压电晶体压电晶体的上端面有一压电形变面；金属光栅设于压电形变面，金属光栅包括多条间隔设置的金属条纹；纳米线设于金属光栅的上端面上，纳米线的延伸方向与金属条纹的延伸方向呈相互垂直设置，与金属光栅上端面紧密贴合；金属电极设于压电晶体的侧壁面上。在本公开提供的技术方案中，激光器体积小，调谐频率高，具有多种调谐方式，发光端面小，腔长远小于传统分布反馈(DFB)激光器，连续调谐频率可达40MHz等优点，尤其实现了声光电的一体化耦合，具有深厚的研究价值和广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN116137411A

公开(公告)日：2023-05-19

申请号：CN202111373232.8

申请日：2021-11-18

Applicant: 中国科学院半导体研究所

Inventor： 储凯闻 ,  马方园 ,  王智杰 ,  曲胜春 ,  刘孔

IPC: H01S5/02 ,  H01S5/065 ,  H01S5/12

Abstract: 本公开提供一种单模等离激元纳米激光器及其制备方法，单模等离激元纳米激光器包括光栅衬底以及增益介质；光栅衬底具有一衬底，衬底的上端面上形成有沿横向间隔设置的多个凹槽，每一凹槽内均被填充材料紧密填充，衬底的上端面与填充料的上端面共同形成一生长面；增益介质包括一个沿纵向延伸生长的纳米线，增益介质设于生长面上；其中，衬底材质包括银，填充料的材质为金，共同形成金银光栅衬底，增益介质的材质为钙钛矿。在本公开提供的技术方案中，光栅衬底上形成交替分布的金银结构，利用交替分布的金银衬底引入沿波导方向有效折射率的周期变化，构成对于纳米线激光的分布反馈式调制，形成单模激射。