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公开(公告)号：CN115125509A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210739696.4
申请日：2022-06-28
Applicant: 中国科学院兰州化学物理研究所
IPC: C23C16/02 , C23C16/24 , C23C16/26 , C23C16/503 , C23C16/52
Abstract: 本发明涉及一种宽温域润滑碳基涂层材料，该涂层材料由氢化非晶硅中间层、硅掺杂类金刚石过渡层和硅、氮共掺杂类金刚石顶层组成，并利用空心阴极放电与等离子体浸没注入技术相结合制得。本发明还公开了其制备方法。本发明所得涂层材料同时具有热稳定性、抗氧化性和优异的润滑性能，可用于发动机活塞、材料成型、高温轴承、齿轮、减摩耐磨物件等领域。
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