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公开(公告)号：CN103322942A
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201310294761.8
申请日：2013-07-15
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是一种基于波像差的光学系统各光学件面形的检测方法，包括步骤S1：将光学系统各元件进行粗装调，使光学系统波像差能被波像差检测装置有效检测；步骤S2：对各光学元件的空间位置进行调整，测量各位置状态下光学系统的波像差，并记录；步骤S3：将记录的光学元件位置状态及对应的光学系统波像差输入处理器，计算各光学元件的面形。本发明通过检测光学系统的波像差，来确定光学系统中各光学件的面形，装配阶段通过最终测量的光学系统波像差，获得光学系统各光学件的面形数据，可用于消除面形误差产生的系统波像差。适用于面形数据不能准确测量的光学系统，避免面形数据检测误差造成后续装调过程中的不当操作，提高光学系统的成像质量。
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