公开(公告)号：CN104532204A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：CN201510015529.5

申请日：2015-01-13

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 周子夜 ,  樊俊琪 ,  冯忠毅 ,  王宏桥 ,  陈东红

IPC: C23C14/50

CPC classification number: C23C14/50

Abstract: 本发明公开了一种竖直放置式镀膜夹具，该镀膜夹具主部件为一个夹具主体，夹具主体为环状壳体，其内腔用于放置待镀膜的反射镜，反射镜待镀膜面朝下放置。夹具主体上面，设置有三个120°均布的螺纹孔，三个螺纹孔与镀膜机工作台面相连接；夹具主体上面还设置有三个120°均布的挡片，以避免反射镜在镀膜过程中从镀膜夹具内脱落。夹具主体内侧面有三个120°均布的圆弧形垫块，垫块的外圆弧面与夹具主体内腔轮廓相匹配，内圆弧面与反射镜外径轮廓相匹配；在夹具主体侧面有6个顶丝呈放射状分布，用于调节垫块与反射镜的间隙以夹紧反射镜。本发明解决了镜体竖直放置式镀膜机镀制刚度较差的反射镜面形精度差的问题。

公开(公告)号：CN104532204B

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201510015529.5

申请日：2015-01-13

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 周子夜 ,  樊俊琪 ,  冯忠毅 ,  王宏桥 ,  陈东红

IPC: C23C14/50

Abstract: 本发明公开了一种竖直放置式镀膜夹具，该镀膜夹具主部件为一个夹具主体，夹具主体为环状壳体，其内腔用于放置待镀膜的反射镜，反射镜待镀膜面朝下放置。夹具主体上面，设置有三个120°均布的螺纹孔，三个螺纹孔与镀膜机工作台面相连接；夹具主体上面还设置有三个120°均布的挡片，以避免反射镜在镀膜过程中从镀膜夹具内脱落。夹具主体内侧面有三个120°均布的圆弧形垫块，垫块的外圆弧面与夹具主体内腔轮廓相匹配，内圆弧面与反射镜外径轮廓相匹配；在夹具主体侧面有6个顶丝呈放射状分布，用于调节垫块与反射镜的间隙以夹紧反射镜。本发明解决了镜体竖直放置式镀膜机镀制刚度较差的反射镜面形精度差的问题。