-
公开(公告)号:CN103970933A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201410121090.X
申请日:2014-03-28
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种基于衍射型微透镜优化红外焦平面探测器的设计方法。该方法优化了可应用于锑化铟红外焦平面阵列探测器的衍射型微透镜的光学相位结构参数及最佳厚度,显示八相位结构有最高的量子效率和最低的串音率,并可获得该结构的最佳厚度。本发明的优点在于,可以通过数值方法设计出不同衍射型微透镜结构的量子效率和串音特性,并结合透镜厚度的变化对上述特性的影响,从而提高了产品的可靠性和性能,并大幅减少了开发费用。本发明对于改善红外焦平面探测器性能和优化器件设计都有着十分重要的意义。
-
公开(公告)号:CN105914252A
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201610406753.1
申请日:2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/103 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/1035 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法。该结构单片集成了Pt/CdS紫外焦平面和InSb红外焦平面,Pt/CdS紫外焦平面受到正面入射,由于红外辐射可以透过CdS到达InSb吸收层,从而可以实现紫外辐射和红外辐射的同时探测。Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列的工作波段为300~550nm和2.9~5.7μm。本发明的优点在于,Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列结构中紫外焦平面与红外焦平面距离很近从而共焦,并且紫外红外光敏元上下对齐有利于光学系统的设计。本发明对于实际双色器件的优化设计和制备都有着十分重要的意义。
-
公开(公告)号:CN105914252B
公开(公告)日:2017-06-27
申请号:CN201610406753.1
申请日:2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/103 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法。该结构单片集成了Pt/CdS紫外焦平面和InSb红外焦平面,Pt/CdS紫外焦平面受到正面入射,由于红外辐射可以透过CdS到达InSb吸收层,从而可以实现紫外辐射和红外辐射的同时探测。Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列的工作波段为300~550nm和2.9~5.7μm。本发明的优点在于,Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列结构中紫外焦平面与红外焦平面距离很近从而共焦,并且紫外红外光敏元上下对齐有利于光学系统的设计。本发明对于实际双色器件的优化设计和制备都有着十分重要的意义。
-
公开(公告)号:CN205810842U
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201620559122.9
申请日:2016-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: H01L31/103 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本专利公开了一种紫外和红外双色焦平面探测器阵列。该结构单片集成了Pt/CdS紫外焦平面和InSb红外焦平面,Pt/CdS紫外焦平面受到正面入射,由于红外辐射可以透过CdS到达InSb吸收层,从而可以实现紫外辐射和红外辐射的同时探测。Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列的工作波段为300~550nm和2.9~5.7μm。本专利的优点在于,Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列结构中紫外焦平面与红外焦平面距离很近从而共焦,并且紫外红外光敏元上下对齐有利于光学系统的设计。本专利对于实际双色器件的优化设计和制备都有着十分重要的意义。
-
-
-