公开(公告)号：CN116169187A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202111408339.1

申请日：2021-11-25

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王林 ,  王雪妍 ,  姚晨禹 ,  姜梦杰 ,  陈效双

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/028 ,  H01L31/113 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种铁电调控下的石墨烯太赫兹探测器及制备方法。器件制备步骤是将机械剥离的石墨烯转移到本征高阻硅衬底上，利用紫外光刻技术和电子束蒸发制作源、漏电极，采用干法定点转移技术将机械剥离的CuInP2S6从聚二甲基硅氧烷(PDMS)转移到高阻硅衬底上，利用电子束曝光技术和电子束蒸发制作栅电极，并利用超声引线等工艺，制备出铁电调控下的石墨烯太赫兹探测器。通过构造具有蝶形的金属结构天线，在铁电材料的调控下，实现室温高灵敏的太赫兹宽谱吸收，从而显著增强了探测器的源漏电流，大幅提高了器件的信噪比和探测能力。基于铁电调控下的石墨烯太赫兹探测器在太赫兹波段体现了很高的灵敏度。本发明的优点是响应率高，响应快，功耗低和便于集成化。