公开(公告)号：CN114384621A

公开(公告)日：2022-04-22

申请号：CN202210127592.8

申请日：2022-02-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王少伟 ,  刘清权 ,  李辰璐 ,  玄志一 ,  左易 ,  陆卫

IPC: G02B5/20 ,  G02B5/26 ,  G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种基于双等离激元共振的角度不敏感窄带滤波器，器件结构自下而上由衬底、金属光栅层、介质隔离层、金属层、介质隔离层、金属光栅层、包覆层组成。本发明利用上下同频等离子激元共振的耦合效应，能让特定波长的入射光透射，而其他波长的光则会被金属层反射，构成窄带滤波器。并且，由于激发等离子激元共振的边界条件是偶极子边界条件，与入射角度无关，因此该滤波器有极好的角度不敏感特性，解决了传统窄带滤波器的带通峰位随入射角度敏感变化的难题。

公开(公告)号：CN114551489A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202210133188.1

申请日：2022-02-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王少伟 ,  玄志一 ,  刘清权 ,  陆卫

IPC: H01L27/146

Abstract: 本发明公开了一种分光与探测一体化的短波红外光谱探测器，其结构自下而上由硅基读出电路、In柱互联层、InGaAs光敏芯片、衬底、集成微腔分光结构阵列组成。本发明中，集成微腔分光结构阵列是基于法布里珀罗(FP)光学微腔原理的多通道集成分光器件。每个分光结构与相应InGaAs光敏芯片像元一体化集成，使每个探测器像元同时具备选频分光和探测能力，构成分光与探测一体化的的短波红外光谱探测器。该探测芯片构成了最小化的短波红外光谱探测组件，具有分光与探测一体，光谱通道可以灵活设计、自由组合，稳定性高、工艺兼容等优点。

公开(公告)号：CN114384621B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202210127592.8

申请日：2022-02-11

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所

Inventor： 王少伟 ,  刘清权 ,  李辰璐 ,  玄志一 ,  左易 ,  陆卫

IPC: G02B5/20 ,  G02B5/26 ,  G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种基于双等离激元共振的角度不敏感窄带滤波器，器件结构自下而上由衬底、金属光栅层、介质隔离层、金属层、介质隔离层、金属光栅层、包覆层组成。本发明利用上下同频等离子激元共振的耦合效应，能让特定波长的入射光透射，而其他波长的光则会被金属层反射，构成窄带滤波器。并且，由于激发等离子激元共振的边界条件是偶极子边界条件，与入射角度无关，因此该滤波器有极好的角度不敏感特性，解决了传统窄带滤波器的带通峰位随入射角度敏感变化的难题。

公开(公告)号：CN115014517A

公开(公告)日：2022-09-06

申请号：CN202210468791.5

申请日：2022-04-29

Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 ,  上海科技大学

Inventor： 王少伟 ,  玄志一 ,  刘清权 ,  尹知沁 ,  陆卫

IPC: G01J3/28

Abstract: 本说明书实施方式提供一种光谱仪芯片制备方法、光谱测试方法及光谱仪。所述光谱仪芯片制备方法包括在探测器阵列衬底背面蒸镀由周期性交替的至少两种不同折射率介质层构成的第一光子晶体层；在第一光子晶体层表面蒸镀初始缺陷层；在初始缺陷层表面旋涂光刻胶；灰度曝光工艺曝光并显影光刻胶；至少部分探测器像元对应的光刻胶采用互不相同的曝光强度；均匀刻蚀光刻胶层及初始缺陷层，初始缺陷层形成缺陷层阵列；至少部分探测器像元对应的缺陷层阵列中各单元的厚度互不相同；蒸镀由周期性交替生长的介质层构成的第二光子晶体层。将探测器阵列与缺陷光子晶体阵列耦合有利于降低光谱仪芯片尺寸。