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发明公开
一种基于金纳米棒-微光纤模式强耦合结构的湿度传感器审中-实审

公开(公告)号：CN118169078A

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202410158931.8

申请日：2024-02-04

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 于飞 , 任晓琴 , 周宁 , 栾书凡 , 赵笑冬 , 谢佳奇 , 于春雷 , 胡丽丽

IPC: G01N21/47 , G01N21/01

Abstract: 本发明公开了一种光纤湿度传感器，它是在二氧化硅微光纤的表面上点涂金属纳米颗粒，再通过光聚合的方法包覆一层湿敏聚合物；金属纳米颗粒在超连续光的暗场激发下，能够与二氧化硅微光纤的回音壁腔耦合形成独立的复合腔，且复合腔的散射光谱的自由光谱距离大于湿度变化引起的复合腔的散射峰的位移；湿敏聚合物可以调控复合腔的模场分布，通过优化厚度可把复合腔模场最强处调控到金属纳米颗粒所在的界面处。本发明光纤湿度传感器具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、结构简单、湿度分辨率高的特点。

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