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公开(公告)号：CN112540513B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202110017947.3
申请日：2021-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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公开(公告)号：CN112540513A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202110017947.3
申请日：2021-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
Abstract: 本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本发明过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108871516B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201810290039.X
申请日：2018-04-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01G17/02
Abstract: 一种飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置，包括：T形支架、相同长度的第一钢丝和第二钢丝、防雨绸、称重传感器、滑动块和固定块；所述滑动块的两端分别和固定块的两端通过所述的第一钢丝和第二钢丝相连，在所述的第一钢丝和第二钢丝上穿有所述的防雨绸，所述固定块固定在所述T形支架的底端，所述称重传感器固定在所述T形支架的竖直部中部，所述的滑动块在所述的T形支架的竖直部上部滑动，所述的T形支架的水平部两端分别固定于云雾室机械手法兰面内侧，滑动块和固定块由铝合金材料制成。这种装置设计巧妙，操作简单，测量自动快速，能够精准的测量出激光诱导产生的冰晶量。
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公开(公告)号：CN110320151A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910774082.8
申请日：2019-08-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
IPC: G01N15/10
Abstract: 本发明提供一种冰晶接收和自动计量装置，其中所述的端部支撑块底部为凸块A，顶部固定有盖板A，且盖板A与端部支撑块间穿有环形钢丝，环形钢丝底部通过传感器连接防雨绸；环形钢丝另一端穿过滑动支撑块与盖板B间，滑动支撑块底部为凸块B，凸块B穿在丝杆上，且丝杆上设有外螺纹；丝杆一端焊接在固定块A一侧，丝杆另一端穿过固定块B及转轮与电气传动装置连接，固定块B底部通过螺栓固定在槽钢内；优点为：本发明能够整体计量整个实验装置内的冰晶数量，对冰晶的形成过程进行实时追踪，并能通过狭小的操作窗口将冰晶整体取出，方便后续实验设备观察。
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公开(公告)号：CN108871516A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810290039.X
申请日：2018-04-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01G17/02
Abstract: 一种飞秒激光诱导雪的全自动收集冰晶装置，包括：T形支架、相同长度的第一钢丝和第二钢丝、防雨绸、称重传感器、滑动块和固定块；所述滑动块的两端分别和固定块的两端通过所述的第一钢丝和第二钢丝相连，在所述的第一钢丝和第二钢丝上穿有所述的防雨绸，所述固定块固定在所述T形支架的底端，所述称重传感器固定在所述T形支架的竖直部中部，所述的滑动块在所述的T形支架的竖直部上部滑动，所述的T形支架的水平部两端分别固定于云雾室机械手法兰面内侧，滑动块和固定块由铝合金材料制成。这种装置设计巧妙，操作简单，测量自动快速，能够精准的测量出激光诱导产生的冰晶量。
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公开(公告)号：CN210427304U
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201921362107.5
申请日：2019-08-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
IPC: G01N15/10
Abstract: 本实用新型提供一种冰晶接收和自动计量装置，其中所述的端部支撑块底部为凸块A，顶部固定有盖板A，且盖板A与端部支撑块间穿有环形钢丝，环形钢丝底部通过传感器连接防雨绸；环形钢丝另一端穿过滑动支撑块与盖板B间，滑动支撑块底部为凸块B，凸块B穿在丝杆上，且丝杆上设有外螺纹；丝杆一端焊接在固定块A一侧，丝杆另一端穿过固定块B及转轮与电气传动装置连接，固定块B底部通过螺栓固定在槽钢内；优点为：本实用新型能够整体计量整个实验装置内的冰晶数量，对冰晶的形成过程进行实时追踪，并能通过狭小的操作窗口将冰晶整体取出，方便后续实验设备观察。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN213876314U
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202120033360.7
申请日：2021-01-07
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 山东爱特机电技术有限责任公司
Abstract: 本实用新型提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置，其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口；加热腔内填充导热油，电加热棒延伸至导热油内；内腔内安装内腔体，顶盖内腔体顶部连接，固定帽安装在内腔体内，固定帽底部固定压紧弹簧，压紧弹簧底部为过滤帽，过滤帽底部连通输出通道，输出通道与高速喷头连接，高速喷头与压紧螺母连接，压紧螺母固定在本体底部；优点为：本实用新型过滤帽用于去除金属杂质；密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用，内腔体实现金属的加热、熔融及传输；加热腔用于传输导热介质；电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境；高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
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