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公开(公告)号：CN113340868A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110509186.3
申请日：2021-05-11
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种单光束飞秒激光测量空气中污染物气体浓度的检测装置和检测方法。该装置中线偏振飞秒激光经过四分之一波片，变成圆偏振光。圆偏振飞秒激光激发污染物的振动相干性，并激发空气中的氮气分子产生窄带的皮秒激射信号。该激射信号作为探测光，经过相干激发的污染物分子后，诱导振动拉曼散射。通过测量污染物相干拉曼散射信号的强度，反推得到待测污染物的种类与浓度。本发明具有检测装置简单、信噪比高和适合远程测量的特点。
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公开(公告)号：CN108766876B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201810429577.2
申请日：2018-05-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01L21/263 , H01L21/306
Abstract: 一种片上高品质薄膜微光学器件的制备方法，包括在薄膜表面镀金属层、飞秒激光选择性烧蚀金属膜、化学机械抛光以及化学腐蚀等步骤。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗。该方法适用于各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的微光学结构(包含但不限于微盘腔、微环腔、光波导及其耦合器件)。
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公开(公告)号：CN110220676A
公开(公告)日：2019-09-10
申请号：CN201910503966.X
申请日：2019-06-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于分束器的波导传输损耗的测量装置和测量方法，包括：分束器，该分束器的输出端集成第一输出臂和第二输出臂，分束器包括依次连接的第一马赫-曾德尔干涉仪、相移器和第二马赫-曾德尔干涉仪；第一马赫-曾德尔干涉仪和第二马赫-曾德尔干涉仪均由两个相同定向耦合器及连接这两个定向耦合器的两根单模波导干涉臂组成，相移器由两根单模波导干涉臂组成；定向耦合器由二根中间耦合的单模波导组成，该定向耦合器的分光比落在15％：85％到85％：15％范围内。本发明适用测试的单模波导种类多，包括但不限于铌酸锂波导、硅基波导、融石英波导等；可测的最低传输损耗可低于0.001dB/cm，具有精确测量的特点。
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公开(公告)号：CN107175823B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201710432759.0
申请日：2017-06-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B29C64/273 , B29C64/135 , B33Y30/00
Abstract: 一种多分辨率飞秒激光3D打印装置和打印方法，本发明的核心是利用时空聚焦技术对飞秒激光脉冲进行时空整形，操控入射脉冲光束时空特性，同时利用空间波前矫正技术对像差进行补偿，实现打印材料中不同尺度的三维对称焦斑形状，从而进行不同尺度的三维物体光固化成型。本发明具有有效、高速、精度可控等特点，能够实现不同尺度的光固化3D成型和打印，在激光3D打印、模具制造、生物医学功能器官制造、激光三维加工与显示等领域均有着重要的潜在应用价值。
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公开(公告)号：CN108766876A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810429577.2
申请日：2018-05-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01L21/263 , H01L21/306
Abstract: 一种片上高品质薄膜微光学器件的制备方法，包括在薄膜表面镀金属层、飞秒激光选择性烧蚀金属膜、化学机械抛光以及化学腐蚀等步骤。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗。该方法适用于各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的微光学结构(包含但不限于微盘腔、微环腔、光波导及其耦合器件)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105499806B
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201610058876.0
申请日：2016-01-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: B23K26/362 , B23K26/0622
CPC classification number: B23K26/0624 , B23K26/0006 , B23K26/0643 , B23K26/0648 , B23K26/53 , B23K2103/54 , C03C23/0025 , G02B6/00 , G02B6/13
Abstract: 一种透明材料中环状波导飞秒激光直写的方法。本方法的核心是利用空间光调制器等对飞秒激光脉冲进行空间相位整形和滤波，操控飞秒激光聚焦光斑光强为较为均匀的狭长分布。具有这种特性的飞秒激光脉冲与某些晶体、高分子聚合物、玻璃等透明介质相互作用，能够诱导介质内部激光焦点的狭长作用区域折射率变小。利用这种飞秒激光脉冲在透明材料内部直写，可以方便高效的得到折射率相对较小的层状结构。将相似的四个这种层状结构作为包层围成一条横截面为正方形的透明材料通道，即可得到在该透明材料内部的环状光波导。利用此方法诱导形成的波导结构能够方便控制模场尺寸，并且具备高加工效率、低损耗的特点。该方法对微纳光学中三维光器件集成化和芯片化有着重要的意义。
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公开(公告)号：CN103738915A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201410002624.7
申请日：2014-01-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种三维晶体光学回音壁微腔的制备方法，包括对浸没在液体中的晶体进行飞秒激光选择性烧蚀和利用聚焦离子束研磨微腔侧壁。本发明方法制备的三维晶体光学回音壁微腔能将光通过腔体与外界面的连续全内反射限制在腔内，具有极高的表面光洁度，小的模式体积与高的品质因子。该方法适用于各种晶体材料和玻璃等。
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公开(公告)号：CN101587238A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910053695.9
申请日：2009-06-24
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种双色双光子荧光成像方法和装置，采用六束双色光束，分别沿±X，±Y，±Z六个方向入射到样品3中，形成三维点阵来激发荧光，并在探测光路中使用一个二维小孔阵列6滤除背景荧光的方法，利用两种不同频率的飞秒脉冲激光组成双色光束，两者同轴，波长分别为λ 1 和λ 2 ，且λ 1 ＝2λ 2 。两种波长的光在样品3中形成两种不同的三维点阵结构，调节延时线10使六束光等光程，只有在两种三维点阵相互重合的区域才能激发双色双光子荧光。本发明装置可有效地提高三维成像的分辨率和成像速度，而且操作方便。
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公开(公告)号：CN101571603A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200910052374.7
申请日：2009-06-02
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种应用飞秒激光在石英玻璃基底上制备微光学元件的方法，其特征在于包括下列步骤：飞秒激光辐照、化学腐蚀和氢氧焰抛光三步，本发明方法可以实现任意面型，包括平面、标准球面、非球面等的加工；氢氧火焰抛光，生成物只有水，对环境友好，抛光速度快，同时避开了物理接触、化学反应，火焰的高温可以修复微加工造成的晶格损伤，解决了普通抛轮无法解决的难题。
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