多功能高分辨透射光栅X射线谱仪

    公开(公告)号:CN113433151A

    公开(公告)日:2021-09-24

    申请号:CN202110632692.1

    申请日:2021-06-07

    Abstract: 一种多功能高分辨透射光栅X射线谱仪,在真空室的前法兰至后法兰之间依次设置前光阑组件、滤膜组件、X射线晶体准直管组件、多功能透射光栅组件和后光阑组件,在所述的后光阑组件后是X射线CCD。该谱仪测量的波长范围为1nm‑1μm(1.2eV‑1.2keV),测量波长精度最高为0.1nm。本发明通过晶体准直管对X射线的准直和聚焦,解决了目前其他透射光栅谱仪分辨率低和对X射线强度要求较高的缺点,通过多功能透射光栅组件的平动控制实现了多功能测量,既可利用透射光栅测量X射线光谱,又可以直接测量X射线的空间分布,还可以在多功能透射光栅组件中的样品台上放置样品实现X射线对样品的测量。

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