公开(公告)号：CN119870720A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510036465.0

申请日：2025-01-09

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 尹宇辰 ,  廖洋 ,  高文海 ,  刘科 ,  陈聪 ,  谢少明 ,  李飞 ,  彭宇杰 ,  冷雨欣

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/70 ,  B23K26/082

Abstract: 一种结合动态振荡微扫描和霜层辅助的激光加工方法，包括将待加工样品降低至冰点以下，确保待加工样品的表面形成霜层；使激光束聚焦在形成有霜层的加工样品表面；利用扫描装置，使聚焦后的微焦斑围绕中心点进行小范围的高速振荡扫描；通过运动平台带动样品移动，使所述激光在样品表面按预定轨迹进行直写划刻，其中，激光焦点高速扫描和运动平台慢速直写形成同步复合扫描策略。本发明通过聚焦光斑的高速振荡减少热量集中，并通过霜层抑制了重铸层产生和表面碎屑的粘附，提升了微槽铣削和精密切割加工的效率和质量，适用于硬脆材料的精密切割和开槽加工，还通过改变动态振荡扫描路径中不同区域激光辐照时间的占比，实现对微槽截面形状的调控。

公开(公告)号：CN119100609A

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202411185764.2

申请日：2024-08-27

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 尹宇辰 ,  廖洋 ,  高文海 ,  刘科 ,  陈聪 ,  谢少明 ,  李飞 ,  彭宇杰 ,  冷雨欣

IPC: C03C17/30 ,  B23K26/362 ,  B23K26/06 ,  B23K26/064 ,  C03C17/32 ,  C03C15/00 ,  C03C23/00 ,  B23K103/00

Abstract: 一种基于激光诱导深刻蚀的超疏水表面制备方法和装置及其超疏水表面薄膜。本发明提供一种基于激光诱导深刻蚀技术快速制备高透明度超疏水表面的装置和方法，包括使用脉冲整形的贝塞尔光束对玻璃模具进行局部改性；利用氢氧化钾溶液对玻璃模具进行腐蚀，形成孔洞；使用聚二甲基硅氧烷或聚甲基丙烯酸甲酯对玻璃模具进行翻模；剥离固化的薄膜得到高透明度超疏水表面。本发明不仅可以获得高质量的透明超疏水表面，还可以有效加快超疏水表面的生产速度，同时对于超疏水表面上的微结构形貌和间距可以做到有效控制，具有加工质量高、加工速度快、工艺稳定、可应用范围广的特点。