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公开(公告)号：CN101319936A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810040616.6
申请日：2008-07-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种极紫外波段发射效率测量装置，该装置的结构包括：沿极紫外光前进方向依次是铝膜、水平狭缝、第一柱面金镜、第二柱面金镜、平面金镜、竖直狭缝、平场光栅、X射线CCD和计算机，该装置的优点是：采用计算机采集和处理数据，迅速准确；灵敏度高可实现单次测量；成像系统和光栅可有效滤除杂散光，结果精确度高；可单独对5－40纳米波长范围内任意波段的效率进行测量。
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公开(公告)号：CN101393054B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810201899.8
申请日：2008-10-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于飞秒激光系统输出脉冲的对比度测量的双延迟光路的三阶相关仪，其构成如下：沿待测的入射光束方向依次是第一光阑、倍频晶体、分束片，该分束片对基频光高透，对倍频光高反，在该分束片的透射光方向是所述的第一角反射器、第二全反镜和45°抛物面镜，在所述的分束片的反射光方向依次是所述的第二光阑、第一全反镜、第二角反射器、第三全反镜和45°抛物面镜，在所述的45°抛物面镜的反射光束的方向依次是所述的聚焦透镜、和频晶体、第三光阑、三倍频高反镜，在所述的三倍频高反镜的反射光束方向是所述的光定标衰减片组和光电探测器。本发明具有测量精度高、测量范围大和调节周期较短的特点。
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公开(公告)号：CN100561151C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200810040616.6
申请日：2008-07-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种极紫外波段发射效率测量装置，该装置的结构包括：沿极紫外光前进方向依次是铝膜、水平狭缝、第一柱面金镜、第二柱面金镜、平面金镜、竖直狭缝、平场光栅、X射线CCD和计算机，该装置的优点是：采用计算机采集和处理数据，迅速准确；灵敏度高可实现单次测量；成像系统和光栅可有效滤除杂散光，结果精确度高；可单独对5-40纳米波长范围内任意波段的效率进行测量。
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公开(公告)号：CN101393054A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810201899.8
申请日：2008-10-29
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种用于飞秒激光系统输出脉冲的对比度测量的双延迟光路的三阶相关仪，其构成如下：沿待测的入射光束方向依次是第一光阑、倍频晶体、分束片，该分束片对基频光高透，对倍频光高反，在该分束片的透射光方向是所述的第一角反射器、第二全反镜和45°抛物面镜，在所述的分束片的反射光方向依次是所述的第二光阑、第一全反镜、第二角反射器、第三全反镜和45°抛物面镜，在所述的45°抛物面镜的反射光束的方向依次是所述的聚焦透镜、和频晶体、第三光阑、三倍频高反镜，在所述的三倍频高反镜的反射光束方向是所述的光定标衰减片组和光电探测器。本发明具有测量精度高、测量范围大和调节周期较短的特点。
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公开(公告)号：CN101363798A
公开(公告)日：2009-02-11
申请号：CN200810040992.5
申请日：2008-07-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光飞秒探针装置，其构成包括：在主光路设置一分束片，该分束片将入射的激光束分成透射的探针光束和反射的主光束，沿探针光束设置共焦的第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、倍频晶体、直角反射镜和反射镜，所述的第一凸透镜和第二凸透镜共焦，其焦距比为5∶1，所述的小孔光阑位于所述的第一凸透镜和第二凸透镜的公共焦点上，所述的直角反射器由两个互成90°的反射镜构成，并固定在一个移动轴平行于入射光束的一维平移台上，所述的反射镜具有对基频激光高透对倍频探针光高反的膜层。本发明具有调节简单，输出光质量高，能避免和主激光相互干扰的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101319959B
公开(公告)日：2010-08-04
申请号：CN200810040615.1
申请日：2008-07-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置和测定方法，测定装置的构成包括：一台He-Ne激光器，沿该He-Ne激光出射激光束方向依次设置扩束器、软边光阑和待测的离轴抛物面镜，在该离轴抛物面镜的反射光束方向依次设置标准叉丝和显微物镜，该显微物镜位于所述的离轴抛物面镜的焦点，所述的焦点成像于面阵CCD上，该面阵CCD的输出端接计算机，所述的离轴抛物面镜固定在一五维电动调整架上。本发明具有结构简单，调节方便、分辨率高的特点，不仅可以获得离轴抛物面镜焦斑大小尺寸，可以得到焦斑强度二维分布信息，而且可获得焦斑的三维图像信息。
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公开(公告)号：CN101319959A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810040615.1
申请日：2008-07-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置和测定方法，测定装置的构成包括：一台He－Ne激光器，沿该He－Ne激光出射激光束方向依次设置扩束器、软边光阑和待测的离轴抛物面镜，在该离轴抛物面镜的反射光束方向依次设置标准叉丝和显微物镜，该显微物镜位于所述的离轴抛物面镜的焦点，所述的焦点成像于面阵CCD上，该面阵CCD的输出端接计算机，所述的离轴抛物面镜固定在一五维电动调整架上。本发明具有结构简单，调节方便、分辨率高的特点，不仅可以获得离轴抛物面镜焦斑大小尺寸，可以得到焦斑强度二维分布信息，而且可获得焦斑的三维图像信息。
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公开(公告)号：CN201255688Y
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200820150876.4
申请日：2008-07-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种离轴抛物面镜点聚焦能力测定装置，其构成包括：一台He－Ne激光器，沿该He－Ne激光出射激光束方向依次设置扩束器、软边光阑和待测的离轴抛物面镜，在该离轴抛物面镜的反射光束方向依次设置标准叉丝和显微物镜，该显微物镜位于所述的离轴抛物面镜的焦点，所述的焦点成像于面阵CCD上，该面阵CCD的输出端接计算机，所述的离轴抛物面镜固定在一五维电动调整架上。本实用新型具有结构简单，调节方便、分辨率高的特点，不仅可以获得离轴抛物面镜焦斑大小尺寸，可以得到焦斑强度二维分布信息，而且可获得焦斑的三维图像信息。
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公开(公告)号：CN201251548Y
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200820151234.6
申请日：2008-07-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种激光飞秒探针装置，其构成包括：在主光路设置一分束片，该分束片将入射的激光束分成透射的探针光束和反射的主光束，沿探针光束设置共焦的第一凸透镜、小孔光阑、第二凸透镜、倍频晶体、直角反射镜和反射镜，所述的第一凸透镜和第二凸透镜共焦，其焦距比为5∶1，所述的小孔光阑位于所述的第一凸透镜和第二凸透镜的公共焦点上，所述的直角反射器由两个互成90°的反射镜构成，并固定在一个移动轴平行于入射光束的一维平移台上，所述的反射镜具有对基频激光高透对倍频探针光高反的膜层。本实用新型具有调节简单，输出光质量高，能避免和主激光相互干扰的特点。
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公开(公告)号：CN201251487Y
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：CN200820150877.9
申请日：2008-07-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种极紫外波段发射效率测量装置，该装置的结构包括：沿极紫外光前进方向依次是铝膜、水平狭缝、第一柱面金镜、第二柱面金镜、平面金镜、竖直狭缝、平场光栅、X射线CCD和计算机，该装置的优点是：采用计算机采集和处理数据，迅速准确；灵敏度高可实现单次测量；成像系统和光栅可有效滤除杂散光，结果精确度高；可单独对5－40纳米波长范围内任意波段的效率进行测量。
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