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公开(公告)号:CN112290826B
公开(公告)日:2024-02-09
申请号:CN202011073235.5
申请日:2020-10-09
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明涉及X电极分割十字多维压电马达及控制方法和扫描探针显微镜,X电极分割十字二维压电马达,包括滑板,其特征是还包括一个十字形压电体,其中心设有X形电极分割线,构成电极独立的四个支臂结构,其中一对不相邻的支臂沿着x+或x‑方向形变,称为第二、四支臂,另一对不相邻的支臂沿着y+或y‑方向形变,称为第一、三支臂,设置四个大小相等的正压力将上述四个支臂的末端压于滑板的滑面上。本发明同时提出的对于该马达的控制方法以及利用其制成的三维压电马达和扫描隧道显微镜,结构简单、紧凑,十字形压电体受到的弹力自调节,压电材料的使用效率高,推力大,行程广,对称性高,工作温区大。
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公开(公告)号:CN116146885A
公开(公告)日:2023-05-23
申请号:CN202310113323.0
申请日:2023-02-01
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开一种采用单层光学窗口的伸缩式液氦杜瓦,包括均为真空密封结构的第一杜瓦总成、第二杜瓦总成;第一杜瓦总成的底部连接第二杜瓦总成,第一杜瓦总成内的底部为样品腔;第二杜瓦总成包括伸缩管组件、防辐射组件、单层光学窗口;伸缩管组件的顶部与第一杜瓦总成的底部连接,单层光学窗口连接伸缩管组件的底部,防辐射组件位于伸缩管组件内部且同轴布置,防辐射组件在所述伸缩管组件被压缩后其顶部伸入所述样品腔内。本发明的有益效果:操作简单,提高测试效率,节约成本、保证其密封性;防辐射组件能够实现很好的导热、控制温度,极大的降低了光在传输过程中的损耗率;拓展性强,可以引入光纤等光学测量方式。
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公开(公告)号:CN110658153A
公开(公告)日:2020-01-07
申请号:CN201911071722.5
申请日:2019-11-05
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01N21/3581 , G01Q60/18
Abstract: 本发明公开了一种一体化太赫兹产生与聚焦装置及近场太赫兹扫描系统,包括:太赫兹产生单元、转换单元、聚焦单元和光路管道;所述太赫兹产生单元用于产生太赫兹波;所述转换单元设置于所述太赫兹产生单元的出光光路上,所述转换单元用于将所述太赫兹波转换为平行光束后,将所述平行光束引导出射至所述聚焦单元;所述聚焦单元用于将所述平行光束聚焦至预设位置,且太赫兹产生单元、转换单元和聚焦单元均相应固定在光路管道内外。本发明提供的技术方案,通过光路管道将太赫兹产生单元、转换单元和聚焦单元集成固定而实现一体化,实现减小装置体积的目的,使得装置便于在强磁场、极低温等窄空间中使用,在受限空间的测量应用中具有重要意义。
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公开(公告)号:CN101556296A
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200810023611.2
申请日:2008-04-09
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明超低噪声超高精度二级联配去偏压互阻放大器包括互阻放大器TIA、运算放大器OPA、第一分压电阻R1、第二分压电阻R2、第一增益调节电阻R3、第二增益调节电阻R4,是一种通过电流-电压转换放大器的参考电压端对待测器件施加偏压,再通过第二级非反相放大器将该偏压从所述电流-电压转换放大器的输出电压中减除的互阻放大器。本发明具有极高的灵敏度、信噪比和带宽。
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公开(公告)号:CN101424611A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200810186053.1
申请日:2008-12-12
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明探针固定而样品振荡型无微杆扫描力显微镜镜体涉及扫描探针显微镜,包括探针、样品、振子、定位器,定位器设置于探针与振子之间,探针指向固定于振子上的样品。定位器由XYZ定位压电管及分别设置在其两端的探针座和振子座构成,探针与振子分别固定在探针座与振子座上。探针是分立的无微杆探针。振子为压电振子、晶体振子、石英晶振片或石英微叉。本发明的有益效果为:可使用分立的无微杆探针,如性能优越的STM探针;探针成本大大降低,利于性能更好扫描力显微镜的出现和普及;使用高品质因子的晶体振子能提高频率分辨率和测量精度;在定位器与振子间增设辅助振子还可获得小振幅振荡,提高短程力测量灵敏度和原子分辨能力。
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公开(公告)号:CN117168954A
公开(公告)日:2023-12-05
申请号:CN202311136788.4
申请日:2023-09-04
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明公开一种双波纹管低漏热的杜瓦及快速换样测试装置,包括真空腔体、制冷系统和样品腔,真空腔体包括第一顶盖、第一法兰、第二法兰、第一筒体和第一尾管,第一和第二法兰位于第一顶盖中心线两侧;制冷系统包括制冷机、第二顶盖、第二筒体、第二尾管和二级冷头导热板,制冷机的二级冷头与二级冷头导热板固定连接;样品腔包括第一波纹管、第二波纹管和第三尾管,第一波纹管一端固定于第一法兰,另一端固定于第二顶盖,第二波纹管一端固定于第二顶盖,另一端和第三尾管分别固定于二级冷头导冷板上下两侧,且第一、第二波纹管和第三尾管共轴;第一、第二和第三尾管由外向内共轴套装。本发明优点:大幅度降低了漏热,结构紧凑稳定,同时降低成本。
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公开(公告)号:CN101556236B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN200810023612.7
申请日:2008-04-09
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于基座上的两个压电管,探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端,探针与样品间的间隙调节方向与两个压电管的轴线方向垂直,两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。本发明是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管轴线方向垂直以提高探针-样品间距的调节范围,使得在全部使用小于18V的低电压情况下也能实现以往必须使用大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功能,并具有很高热稳定性的扫描探针显微镜镜体。
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公开(公告)号:CN101556236A
公开(公告)日:2009-10-14
申请号:CN200810023612.7
申请日:2008-04-09
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于基座上的两个压电管,探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端,探针与样品间的间隙调节方向与两个压电管的轴线方向垂直,两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。本发明是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管轴线方向垂直以提高探针-样品间距的调节范围,使得在全部使用小于18V的低电压情况下也能实现以往必须使用大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功能,并具有很高热稳定性的扫描探针显微镜镜体。
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公开(公告)号:CN1904583A
公开(公告)日:2007-01-31
申请号:CN200610041263.2
申请日:2006-07-29
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01N13/12
Abstract: 本发明基于互关联放大器的扫描隧道显微镜的隧道电流测量装置,特征是两个电流-电压转换放大器的输出端分别与乘法器的两个输入端相连,乘法器的输出端与平均器的输入端相连;该两个电流-电压转换放大器的检测输入端短接后与探针架或样品架相连,其两个参考输入端短接后作为参考输入端;探针电接触地固定在探针架上,探针架固定在压电陶瓷的顶端,样品架固定在探针指向的基座上,压电陶瓷的另一顶端固定在Z方向粗调驱动器上。本发明装置使信噪比、灵敏度、分辨率和测量精度大幅度提高;在使用三维扫描控制器和Z方向反馈控制系统后,可以实现扫描隧道显微镜的功能;特别是能够通过设定隧道电流功率来实现隧道电流显微镜的恒定电流扫描模式。
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公开(公告)号:CN1904583B
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200610041263.2
申请日:2006-07-29
Applicant: 中国科学技术大学
IPC: G01Q60/10
Abstract: 本发明基于互关联放大器的扫描隧道显微镜的隧道电流测量装置,特征是两个电流-电压转换放大器的输出端分别与乘法器的两个输入端相连,乘法器的输出端与平均器的输入端相连;该两个电流-电压转换放大器的检测输入端短接后与探针架或样品架相连,其两个参考输入端短接后作为参考输入端;探针电接触地固定在探针架上,探针架固定在压电陶瓷的顶端,样品架固定在探针指向的基座上,压电陶瓷的另一顶端固定在Z方向粗调驱动器上。本发明装置使信噪比、灵敏度、分辨率和测量精度大幅度提高;在使用三维扫描控制器和Z方向反馈控制系统后,可以实现扫描隧道显微镜的功能;特别是能够通过设定隧道电流功率来实现隧道电流显微镜的恒定电流扫描模式。
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