一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法

    公开(公告)号:CN112114164A

    公开(公告)日:2020-12-22

    申请号:CN202011009011.8

    申请日:2020-09-23

    Abstract: 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法,步骤:(1)建立硅微谐振式加速度计的谐振梁非线性振动模型;(2)硅微谐振式加速度计非线性振动的不确定分析;(3)硅微谐振式加速度计输入参数对非线性振动的影响。忽略梳齿的转动惯量,简化梳齿为质点,建立带梳齿结构的谐振器非线性振动模型;建立样本随机模型,对输入参数进行随机收敛分析得到最小样本数,将确定的输入参数代入谐振梁非线性振动模型得到对应的输出参数;根据输出参数四分位差随输入参数方差系数的变化,分析输入参数对非线性振动的影响。本发明克服由于输入和输出参数的不确定性,无法分析其对非线性振动的影响程度问题。

    一种基于模态和频率的谐振式加速度计优化方法

    公开(公告)号:CN112131768B

    公开(公告)日:2023-09-05

    申请号:CN202010940879.3

    申请日:2020-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于模态和频率的谐振式加速度计优化方法,包括以下四个基本步骤:(1)构建所述谐振器的运动控制方程;(2)理论计算构建得到所述谐振器的理论模型,有限元方法构建得到所述谐振器的有限元模型;(3)根据理论模型和有限元模型求解得到所述谐振器的各阶模态、频率与几何参数的关系,优化设计所述谐振器的几何参数,使所述谐振器的工作模态远离干扰模态,并避免所述谐振器出现内共振点;(4)根据优化设计的所述谐振器的谐振梁的几何参数,加工所述谐振式加速度计的样件,搭建所述样件的1g翻滚实验装置,通过实验测得灵敏度曲线,进而验证所优化设计的所述谐振式加速度计的性能指标。

    一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法

    公开(公告)号:CN112114164B

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202011009011.8

    申请日:2020-09-23

    Abstract: 本发明公开了一种硅微谐振式加速度计非线性振动确定方法,步骤:(1)建立硅微谐振式加速度计的谐振梁非线性振动模型;(2)硅微谐振式加速度计非线性振动的不确定分析;(3)硅微谐振式加速度计输入参数对非线性振动的影响。忽略梳齿的转动惯量,简化梳齿为质点,建立带梳齿结构的谐振器非线性振动模型;建立样本随机模型,对输入参数进行随机收敛分析得到最小样本数,将确定的输入参数代入谐振梁非线性振动模型得到对应的输出参数;根据输出参数四分位差随输入参数方差系数的变化,分析输入参数对非线性振动的影响。本发明克服由于输入和输出参数的不确定性,无法分析其对非线性振动的影响程度问题。

    一种基于模态和频率的谐振式加速度计优化方法

    公开(公告)号:CN112131768A

    公开(公告)日:2020-12-25

    申请号:CN202010940879.3

    申请日:2020-09-09

    Abstract: 本发明公开了一种基于模态和频率的谐振式加速度计优化方法,包括以下四个基本步骤:(1)构建所述谐振器的运动控制方程;(2)理论计算构建得到所述谐振器的理论模型,有限元方法构建得到所述谐振器的有限元模型;(3)根据理论模型和有限元模型求解得到所述谐振器的各阶模态、频率与几何参数的关系,优化设计所述谐振器的几何参数,使所述谐振器的工作模态远离干扰模态,并避免所述谐振器出现内共振点;(4)根据优化设计的所述谐振器的谐振梁的几何参数,加工所述谐振式加速度计的样件,搭建所述样件的1g翻滚实验装置,通过实验测得灵敏度曲线,进而验证所优化设计的所述谐振式加速度计的性能指标。

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