芯片的低温键合方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119626914A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202510157922.1

    申请日:2025-02-13

    Abstract: 本发明涉及半导体技术领域,具体而言,涉及一种芯片的低温键合方法,其包括:制备具有微凸点的上芯片,微凸点包括含Sn的低温材料;制备具有铜柱的下芯片,并降低铜柱的键合面的粗糙度;将微凸点和铜柱的键合面相对,并在真空环境下,以温度为50‑150℃,压力为10‑40MPa,脉冲电压为2‑6V,进行键合。本发明的芯片的低温键合方法能够实现低温键合,提高键合的稳定性,减少键合带来的热损伤,并且改善键合后上芯片、下芯片的基板出现翘曲问题。

    一种不同气氛环境下镁合金燃点测试装置及方法

    公开(公告)号:CN118225836B

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202410485953.5

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种不同气氛环境下镁合金燃点测试装置及方法,包括支架、试样吊篮以及导气管,所述支架上部安装有加热炉,加热炉的内壁安装有电阻带,所述试样吊篮安装在加热炉的中心处,试样吊篮的底部用于放置燃点测试试样,试样吊杆的上部安装有用于监测燃点测试试样温度变化的热电偶组,加热炉的内部还安装有用于监测加热炉内部温度变化的第一热电偶,第一热电偶连接温控模块,热电偶组连接数据记录模块,所述导气管一端与加热炉连接,导气管另一端连接气瓶,且导气管上安装有用于控制气氛流量的流量计。

    一种不同气氛环境下镁合金燃点测试装置及方法

    公开(公告)号:CN118225836A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410485953.5

    申请日:2024-04-22

    Abstract: 本发明公开了一种不同气氛环境下镁合金燃点测试装置及方法,包括支架、试样吊篮以及导气管,所述支架上部安装有加热炉,加热炉的内壁安装有电阻带,所述试样吊篮安装在加热炉的中心处,试样吊篮的底部用于放置燃点测试试样,试样吊杆的上部安装有用于监测燃点测试试样温度变化的热电偶组,加热炉的内部还安装有用于监测加热炉内部温度变化的第一热电偶,第一热电偶连接温控模块,热电偶组连接数据记录模块,所述导气管一端与加热炉连接,导气管另一端连接气瓶,且导气管上安装有用于控制气氛流量的流量计。

    用于三维封装的扩散阻挡层的制备方法

    公开(公告)号:CN119446926B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202510031670.8

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明涉及半导体三维封装技术领域,具体而言,涉及用于三维封装的扩散阻挡层的制备方法,其包括:熔炼高熵合金,高熵合金具有面心立方结构;轧制高熵合金,总压下量为80‑90%,轧制后在高熵合金的再结晶温度退火,空冷;切割得到厚度为1‑3μm的高熵合金贴片;通过植球回流的方法使锡球熔化、并与铜柱熔接成焊球;将高熵合金贴片和焊球在热压条件下进行热压键合,热压键合的温度为250~270℃,压力为200‑300gf,时间为20~30min。该制备方法得到的扩散阻挡层具有良好的阻挡效果。

    用于三维封装的扩散阻挡层的制备方法

    公开(公告)号:CN119446926A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202510031670.8

    申请日:2025-01-09

    Abstract: 本发明涉及半导体三维封装技术领域,具体而言,涉及用于三维封装的扩散阻挡层的制备方法,其包括:熔炼高熵合金,高熵合金具有面心立方结构;轧制高熵合金,总压下量为80‑90%,轧制后在高熵合金的再结晶温度退火,空冷;切割得到厚度为1‑3μm的高熵合金贴片;通过植球回流的方法使锡球熔化、并与铜柱熔接成焊球;将高熵合金贴片和焊球在热压条件下进行热压键合,热压键合的温度为250~270℃,压力为200‑300gf,时间为20~30min。该制备方法得到的扩散阻挡层具有良好的阻挡效果。

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