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公开(公告)号：CN102418082A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110369863.2
申请日：2011-11-21
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 一种薄膜涂层微纳米织构制备方法及其装置，属于表面工程的薄膜涂层；制备方法包括前期准备、薄膜涂层沉积、微纳米织构制备和后处理；专用装置为多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置，多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置包括脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块，脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块顺序连接。优点：本发明加工方便、效率高，采用一个激光光源同时实现材料表面的薄膜涂层沉积微纳米织构制备，工艺简单、易于控制，无需对制备的样品进行复杂的后处理工艺；应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，能对任何材料进行精密的微纳米织构处理，同时能诱导多种气体的化学反应，高效的进行薄膜涂层沉积。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103991839B
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201410211602.1
申请日：2014-05-19
Applicant: 中国矿业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种超声振动制备微纳米织构的方法，属于硅表面微纳米织构的制备方法。该方法：首先利用匀胶机在基板表面均匀的涂覆一层光刻胶；将带有光刻胶的基板在激光干涉系统中进行干涉曝光，实现对光刻胶的织构化处理；最后将基板置于超声加工系统中进行加工，无光刻胶覆盖区域的基板材料将被去除，随着超声加工时间的增加，去除深度将逐渐增大，控制激光干涉光刻的曝光参数、超声振动加工参数实现尺寸可控、大面积的周期性微纳米织构制备。优点：采用超声振动加工无污染、操作简单，超声加工过程中，不会破坏基板表面的光刻胶层，图形转移效果好；改变振动工具的大小实现不同面积的加工；超声波振动的加工精度高、表面质量好，基板在加工过程中受力较小。
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公开(公告)号：CN103991839A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410211602.1
申请日：2014-05-19
Applicant: 中国矿业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种超声振动制备微纳米织构的方法，属于硅表面微纳米织构的制备方法。该方法：首先利用匀胶机在基板表面均匀的涂覆一层光刻胶；将带有光刻胶的基板在激光干涉系统中进行干涉曝光，实现对光刻胶的织构化处理；最后将基板置于超声加工系统中进行加工，无光刻胶覆盖区域的基板材料将被去除，随着超声加工时间的增加，去除深度将逐渐增大，控制激光干涉光刻的曝光参数、超声振动加工参数实现尺寸可控、大面积的周期性微纳米织构制备。优点：采用超声振动加工无污染、操作简单，超声加工过程中，不会破坏基板表面的光刻胶层，图形转移效果好；改变振动工具的大小实现不同面积的加工；超声波振动的加工精度高、表面质量好，基板在加工过程中受力较小。
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公开(公告)号：CN102418082B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110369863.2
申请日：2011-11-21
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 一种薄膜涂层微纳米织构制备方法及其装置，属于表面工程的薄膜涂层；制备方法包括前期准备、薄膜涂层沉积、微纳米织构制备和后处理；专用装置为多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置，多光束脉冲激光微纳米织构处理系统装置包括脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块，脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块顺序连接。优点：本发明加工方便、效率高，采用一个激光光源同时实现材料表面的薄膜涂层沉积微纳米织构制备，工艺简单、易于控制，无需对制备的样品进行复杂的后处理工艺；应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，能对任何材料进行精密的微纳米织构处理，同时能诱导多种气体的化学反应，高效的进行薄膜涂层沉积。
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公开(公告)号：CN203532727U
公开(公告)日：2014-04-09
申请号：CN201320689957.2
申请日：2013-11-05
Applicant: 中国矿业大学
IPC: F16J7/00
Abstract: 本实用新型涉及一种表面复合梯度镀层的活塞杆，包括活塞杆主体，所述活塞杆主体的外表面设有1～2mm厚的超声振动强化层；所述超声振动强化层表面复合0.5～1mm厚镀镍层；所述镀镍层表面复合0.5mm厚多层梯度镍-钴复合镀层，一种表面复合梯度镀层的活塞杆，超声强化振动层增加了活塞杆表面的硬度，细化了杆体表面的晶粒，提高了基底与镀层直接的结合力；复合梯度镀层显著的提高了活塞杆表面的耐用型，可承受更大剪切应力，且活塞杆表面强度均匀，表面质量统一，可以显著提高活塞杆的使用寿命。
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公开(公告)号：CN202347094U
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201120462376.6
申请日：2011-11-21
Applicant: 中国矿业大学
Abstract: 一种涂层微纳米织构制备装置，包括顺序连接的脉冲激光模块、光路传输模块和精密扫描模块，所述的脉冲激光模块包括顺序连接的计算机、控制器和脉冲激光器；光路传输模块包括顺序连接的反射镜、扩束镜、反射镜组、聚焦镜组和透光玻璃；精密扫描模块包括步进电机和反应室，反应室内设有放置样品的三维平台，三维平台穿出反应室与步进电机相连接，步进电机与计算机的输出端连接。本实用新型加工方便、效率高，采用一个激光光源同时实现材料表面的薄膜涂层沉积微纳米织构制备，应用范围广、紫外脉冲激光具有光子能量大、波长短的特点，能对任何材料进行精密的微纳米织构处理，同时能诱导多种气体的化学反应，高效的进行薄膜涂层沉积。
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