一种半导体片材的表面缺陷及厚度检测方法及装置

    公开(公告)号:CN103543162B

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201310542491.8

    申请日:2013-11-05

    Abstract: 一种半导体片材的表面缺陷及厚度检测方法及装置,属于材料表面缺陷及厚度的检测方法及装置。所述装置采取的具体技术方案是:装置包括工装、控制柜、计算机和连接缆线;工装、控制柜、计算机通过连接缆线顺序连接。所述装置的检测原理:利用绿色激光的透射原理间接反馈平面片材的高度值信号,通过一系列公式计算出半导体片材的表面缺陷及厚度。所述检测方法包括:测试平台水平校准方法、激光发生器和激光接收器同步运行的方法、半导体片材表面缺陷及厚度的检测方法,半导体片材表面缺陷及厚度的计算方法。该检测装置简单、实用、易于操作、检测精度高、重复性好、样品要求低、杂质及污染影响小,非常适合科研需求。

    一种分等级单斜相ZrO2纳米片的制备方法

    公开(公告)号:CN103288132B

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201310225841.8

    申请日:2013-06-07

    Abstract: 一种分等级单斜相ZrO2纳米片的制备方法,属于ZrO2纳米片的制备方法。采用直接氧化刻蚀ZrB2陶瓷的方法,通过化学反应,原位自组装生成分等级单斜相ZrO2纳米片,步骤如下:1)选取ZrB2作为锆源,以热分解可产生氧气的物质作为氧源,以强腐蚀性氢氟酸作为辅助材料;2)配置氧源溶液,并添加表面活性剂,充分搅拌溶解;3)称取ZrB2陶瓷粉和钇盐,分别加入到上述溶液中;4)然后添加强腐蚀性氢氟酸,充分搅拌后,转移到特氟龙内衬的反应釜中进行水热反应;5)反应结束后,将产物过滤,用去离子水和乙醇清洗,并在烘箱中干燥;6)将干燥的产物热处理后得到最终单斜相ZrO2纳米片。该制备方法过程简单,操作条件易于控制,可用于实验室研究的少量制备及大批量生产。

    一种分等级中空Nb3O7F纳米材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103303977B

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201310228159.4

    申请日:2013-06-07

    Abstract: 一种分等级中空Nb3O7F纳米材料的制备方法,属于Nb3O7F纳米材料的制备方法。采用直接氧化刻蚀NbB2陶瓷的方法,通过化学反应,原位自组装生成中空Nb3O7F纳米材料,步骤如下:1)选取NbB2作为铌源,以热分解可产生氧气的物质作为氧源,以强腐蚀性氢氟酸作为氟源;2)配置氧源溶液,并添加表面活性剂,充分搅拌溶解;3)称取NbB2陶瓷粉,加入到上述溶液中;4)然后添加强腐蚀性氢氟酸到上述溶液中,并搅拌充分;5)将上述溶液转移到反应釜中进行水热反应;6)反应结束后,将产物过滤,并用去离子水和乙醇清洗,在烘箱中干燥,即得到分等级中空Nb3O7F纳米材料。方法过程简单,操作条件易于控制,实现了低温下原位制备Nb3O7F纳米材料,无需后续的热处理,可用于大批量生产。

    一种半导体片材的表面缺陷及厚度检测方法及装置

    公开(公告)号:CN103543162A

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201310542491.8

    申请日:2013-11-05

    Abstract: 一种半导体片材的表面缺陷及厚度检测方法及装置,属于材料表面缺陷及厚度的检测方法及装置。所述装置采取的具体技术方案是:装置包括工装、控制柜、计算机和连接缆线;工装、控制柜、计算机通过连接缆线顺序连接。所述装置的检测原理:利用绿色激光的透射原理间接反馈平面片材的高度值信号,通过一系列公式计算出半导体片材的表面缺陷及厚度。所述检测方法包括:测试平台水平校准方法、激光发生器和激光接收器同步运行的方法、半导体片材表面缺陷及厚度的检测方法,半导体片材表面缺陷及厚度的计算方法。该检测装置简单、实用、易于操作、检测精度高、重复性好、样品要求低、杂质及污染影响小,非常适合科研需求。

    一种分等级中空Nb3O7F纳米材料的制备方法

    公开(公告)号:CN103303977A

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201310228159.4

    申请日:2013-06-07

    Abstract: 一种分等级中空Nb3O7F纳米材料的制备方法,属于Nb3O7F纳米材料的制备方法。采用直接氧化刻蚀NbB2陶瓷的方法,通过化学反应,原位自组装生成中空Nb3O7F纳米材料,步骤如下:1)选取NbB2作为铌源,以热分解可产生氧气的物质作为氧源,以强腐蚀性氢氟酸作为氟源;2)配置氧源溶液,并添加表面活性剂,充分搅拌溶解;3)称取NbB2陶瓷粉,加入到上述溶液中;4)然后添加强腐蚀性氢氟酸到上述溶液中,并搅拌充分;5)将上述溶液转移到反应釜中进行水热反应;6)反应结束后,将产物过滤,并用去离子水和乙醇清洗,在烘箱中干燥,即得到分等级中空Nb3O7F纳米材料。方法过程简单,操作条件易于控制,实现了低温下原位制备Nb3O7F纳米材料,无需后续的热处理,可用于大批量生产。

    一种分等级单斜相ZrO2纳米片的制备方法

    公开(公告)号:CN103288132A

    公开(公告)日:2013-09-11

    申请号:CN201310225841.8

    申请日:2013-06-07

    Abstract: 一种分等级单斜相ZrO2纳米片的制备方法,属于ZrO2纳米片的制备方法。采用直接氧化刻蚀ZrB2陶瓷的方法,通过化学反应,原位自组装生成分等级单斜相ZrO2纳米片,步骤如下:1)选取ZrB2作为锆源,以热分解可产生氧气的物质作为氧源,以强腐蚀性氢氟酸作为辅助材料;2)配置氧源溶液,并添加表面活性剂,充分搅拌溶解;3)称取ZrB2陶瓷粉和钇盐,分别加入到上述溶液中;4)然后添加强腐蚀性氢氟酸,充分搅拌后,转移到特氟龙内衬的反应釜中进行水热反应;5)反应结束后,将产物过滤,用去离子水和乙醇清洗,并在烘箱中干燥;6)将干燥的产物热处理后得到最终单斜相ZrO2纳米片。该制备方法过程简单,操作条件易于控制,可用于实验室研究的少量制备及大批量生产。

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