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公开(公告)号：CN113096513B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202110280185.6
申请日：2021-03-16
Applicant: 中国电子系统工程第二建设有限公司
Abstract: 本发明提出了一种特气化学品模拟仿真系统平台装置，其能够直观展示系统架构、提高调试效率、便于工程师验证优化系统自动控制程序，其包括上位机、特殊气体供应监控系统、化学品供应监控系统，其特征在于：所述特殊气体供应监控系统具体为：所述上位机通过通讯路径线连接至第一自动控制盘柜图示；所述上位机还通过通讯路径线分别连接至气体输送柜图示和气体分配柜图示；所述气体输送柜图示通过流程指示箭头依次连接至气体分配柜图示、机台设备图示、尾气处理设备图示。
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公开(公告)号：CN113096513A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110280185.6
申请日：2021-03-16
Applicant: 中国电子系统工程第二建设有限公司
Abstract: 本发明提出了一种特气化学品模拟仿真系统平台装置，其能够直观展示系统架构、提高调试效率、便于工程师验证优化系统自动控制程序，其包括上位机、特殊气体供应监控系统、化学品供应监控系统，其特征在于：所述特殊气体供应监控系统具体为：所述上位机通过通讯路径线连接至第一自动控制盘柜图示；所述上位机还通过通讯路径线分别连接至气体输送柜图示和气体分配柜图示；所述气体输送柜图示通过流程指示箭头依次连接至气体分配柜图示、机台设备图示、尾气处理设备图示。
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公开(公告)号：CN215868362U
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202120542058.4
申请日：2021-03-16
Applicant: 中国电子系统工程第二建设有限公司
IPC: G09B25/00
Abstract: 本实用新型提出了特气化学品模拟仿真系统平台装置，其能够直观展示系统架构、提高调试效率、便于工程师验证优化系统自动控制程序，其包括上位机、特殊气体供应监控系统、化学品供应监控系统，其特征在于：所述特殊气体供应监控系统具体为：所述上位机通过通讯路径线连接至第一自动控制盘柜图示；所述上位机还通过通讯路径线分别连接至气体输送柜图示和气体分配柜图示；所述气体输送柜图示通过流程指示箭头依次连接至气体分配柜图示、机台设备图示、尾气处理设备图示。
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