一种超纯水制造系统及使用该系统的超纯水制造方法

    公开(公告)号:CN111252971A

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN202010222544.8

    申请日:2020-03-26

    Abstract: 本发明提供了一种超纯水制造系统,其不需要使用酸碱对离子交换装置进行再生,降低成本同时制得的超纯水溶解氮浓度降低。其包括顺次连接的原水池、第一换热器、多介质过滤器、脱碳塔、活性炭过滤器、UV杀菌器、保安过滤器、反渗透系统、产水池、第一TOC-UV装置、双层床树脂电再生除盐系统、除硼螯合树脂塔、第一脱气膜装置、超纯水箱、第二换热器、第二TOC-UV装置、离子交换装置、脱气膜系统、终端超滤装置、超纯水使用点;超纯水箱与双层床树脂电再生除盐系统连接;脱气膜系统包括顺次连接的第二脱气膜装置和第三脱气膜装置,第二脱气膜装置采用氮气吹扫加抽真空的运行模式,第三脱气膜装置采用抽真空的运行模式。另外,还提供了使用该系统的方法。

    一种超纯水制造系统
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN212269740U

    公开(公告)日:2021-01-01

    申请号:CN202020404009.X

    申请日:2020-03-26

    Abstract: 本实用新型提供了一种超纯水制造系统,其不需要使用酸碱对离子交换装置进行再生,降低成本同时制得的超纯水溶解氮浓度降低。其包括顺次连接的原水池、第一换热器、多介质过滤器、脱碳塔、活性炭过滤器、UV杀菌器、保安过滤器、反渗透系统、产水池、第一TOC‑UV装置、双层床树脂电再生除盐系统、除硼螯合树脂塔、第一脱气膜装置、超纯水箱、第二换热器、第二TOC‑UV装置、离子交换装置、脱气膜系统、终端超滤装置、超纯水使用点;超纯水箱与双层床树脂电再生除盐系统连接;脱气膜系统包括顺次连接的第二脱气膜装置和第三脱气膜装置,第二脱气膜装置采用氮气吹扫加抽真空的运行模式,第三脱气膜装置采用抽真空的运行模式。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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