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公开(公告)号:CN107228736A
公开(公告)日:2017-10-03
申请号:CN201710597771.7
申请日:2017-07-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 一种小型化电容式真空压力传感器封装结构,它涉及电容式真空传感器领域。本发明为了解决现有的电容式真空传感器存在电极板之间的间隙小,电容电极的直径大,抗过载能力低,且采用气态吸气剂需要将传感器产品移出转至其他设备中进行加热,存在污染真空密封腔内的真空度的问题。本发明的金属动电极的下端面与下盖的上端面固接,金属动电极的上端面与外壳的下端固接,上盖固定安装在外壳的上端,转接端子安装在上盖上,转接端子的外边缘与上盖固接,静电极安装在外壳内,导电橡胶的下端与静电极的上端面接触,引脚的一端安装在导电橡胶上方的凹槽内,引脚的另一端与转接端子固接,密封接头与上盖焊接在一起。本发明用于真空压力的测量。
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公开(公告)号:CN106323511A
公开(公告)日:2017-01-11
申请号:CN201610638733.7
申请日:2016-08-05
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 单片式石英谐振压力/温度传感器及单片式力敏传感器的工艺方法,涉及一种压力/温度传感器。解决了现有的谐振式石英晶体压力/温度传感器体积大、工艺难度高、精密度低、稳定性差的问题。本发明采用了高稳定的力敏-热敏石英晶体切型、高品质因数的单片式力敏-热敏谐振器的结构、压力/压缩力的转换结构、石英低应力封接结构和工艺,采用低应力封接结构和工艺利用了石英晶体、SiC层、单晶硅、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的优良弹性,配合半导体工艺实现。虽然硅和石英材料的热膨胀系数不等,利用了非晶态SiC层的缓冲作用,大幅度地减少了石英压力/温度传感器的热应力。本发明适用于作为压力/温度传感器使用。
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公开(公告)号:CN106323511B
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201610638733.7
申请日:2016-08-05
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
Abstract: 单片式石英谐振压力及温度传感器及其工艺方法,涉及一种压力及温度传感器。解决了现有的谐振式石英晶体压力及温度传感器体积大、工艺难度高、精密度低、稳定性差的问题。本发明采用了高稳定的力敏‑热敏石英晶体切型、高品质因数的单片式力敏‑热敏谐振器的结构、压力‑压缩力的转换结构、石英低应力封接结构和工艺,采用低应力封接结构和工艺利用了石英晶体、SiC层、单晶硅、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的优良弹性,配合半导体工艺实现。虽然硅和石英材料的热膨胀系数不等,利用了非晶态SiC层的缓冲作用,大幅度地减少了石英压力及温度传感器的热应力。本发明适用于作为压力及温度传感器使用。
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公开(公告)号:CN107356367A
公开(公告)日:2017-11-17
申请号:CN201710596119.3
申请日:2017-07-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01L21/00
CPC classification number: G01L21/00
Abstract: 一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器,它涉及电容式真空传感器领域。本发明为了解决现有的真空计存在体积过大、重量过重,且无法满足火星等深空探测活动中的真空测量需求,且电容薄膜真空计的小型化会使仪器本身的线性、重复性和稳定性均受到影响,在保证测量准确度的同时难以保证深空探测需求的载荷小型化问题。本发明的上电极安装在下电极上,吸气剂置于上电极的第一环形槽内,金属膜片置于上电极和下电极的中间位置,上电极引脚插装在上电极的第二通孔内,共用电极引脚插装在上电极的第一通孔内,下电极引脚插装在下电极的第四通孔和上电极的第三通孔内。本发明用于完成真空压力的测量。
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公开(公告)号:CN107356367B
公开(公告)日:2019-07-12
申请号:CN201710596119.3
申请日:2017-07-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01L21/00
Abstract: 一种小型化差动式双电容式薄膜真空传感器,它涉及电容式真空传感器领域。本发明为了解决现有的真空计存在体积过大、重量过重,且无法满足火星等深空探测活动中的真空测量需求,且电容薄膜真空计的小型化会使仪器本身的线性、重复性和稳定性均受到影响,在保证测量准确度的同时难以保证深空探测需求的载荷小型化问题。本发明的上电极安装在下电极上,吸气剂置于上电极的第一环形槽内,金属膜片置于上电极和下电极的中间位置,上电极引脚插装在上电极的第二通孔内,共用电极引脚插装在上电极的第一通孔内,下电极引脚插装在下电极的第四通孔和上电极的第三通孔内。本发明用于完成真空压力的测量。
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公开(公告)号:CN102103001A
公开(公告)日:2011-06-22
申请号:CN200910073457.4
申请日:2009-12-18
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: G01F23/14
Abstract: 本发明解决了不同密度不相溶液体分层液位的高精度测量问题,提出并可以实现的一种新型“碟形”浮子式压差液位传感器,给出了“碟形”浮子压力探头结构设计的理论参数,较好地解决了在液体中的稳定测量问题。
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公开(公告)号:CN203421367U
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:CN201320541551.X
申请日:2013-09-02
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
IPC: F16L11/15
Abstract: 高稳定性弹性波纹管组件,属于液压机械领域,本实用新型为解决现有用于油压监测的波纹管组件密封不良,导致波纹管组件在使用过程中出现漏油的问题。本实用新型方案:基座的上端面设置有环形槽,波纹管的下端嵌入环形槽内,并焊接在一起;两个半圆卡片卡在波纹管自由端的最后一个波谷内,所述两个半圆卡片形成一个圆环,所述圆环上面设置上盖,上盖、波纹管的自由端和两个半圆卡片焊接固定;所述上盖的中心带有通孔;基座的中心位置设置有内螺纹连接孔,调节顶杆的下端设置有外螺纹,调节顶杆的下端穿过上盖的通孔后与基座的中心位置的内螺纹连接孔螺纹连接;弹簧设置在波纹管内部,并套在调节顶杆上,所述弹簧的两端分别压接在基座和上盖上。
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